為提高激光雷達(dá)系統(tǒng)的探測距離和空間探測精度,并減少其體積及成本,研制了一款16線集成窄脈沖半導(dǎo)體激光器模塊,該模塊主要包括高密度排列的激光器芯片、集成驅(qū)動電路及光電混合集成封裝結(jié)構(gòu)。采用三層發(fā)光納米堆疊激光器芯片及高精度貼片工藝實(shí)現(xiàn)16線激光器貼裝;采用結(jié)電容和開關(guān)損耗較小的新型GaN功率器件實(shí)現(xiàn)窄脈沖驅(qū)動電路;將激光器芯片與電路封裝在同一管殼內(nèi),減小分布電感;采用能量壓縮技術(shù)實(shí)現(xiàn)了16線單獨(dú)可控,獲得了高功率（70 W）、窄脈沖（6 ns）和低功耗（4 W）的優(yōu)良性能。與傳統(tǒng)采用分立式器件的激光雷達(dá)系統(tǒng)相比,該模塊能夠?qū)⑾到y(tǒng)探測距離和空間探測精度均提高將近50%。 

【文章來源】：半導(dǎo)體技術(shù). 2020,45(09)北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 整體設(shè)計(jì)
    1.1 激光器芯片制備及高密度排列設(shè)計(jì)
    1.2 集成驅(qū)動電路設(shè)計(jì)
    1.3 光電混合集成封裝結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
2 測試結(jié)果
3 結(jié)論



本文編號：3487063