通過時(shí)域有限差分方法,詳細(xì)地分析了2D-3D異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)中密度集成光學(xué)器件的傳輸特性。在三層2D結(jié)構(gòu)中,分別引入了不同設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的波分復(fù)用器,通過調(diào)整結(jié)構(gòu)參數(shù)實(shí)現(xiàn)了集成光路中每個(gè)器件、每個(gè)端口的波長選擇特性,如B₁端口的輸出頻率為0.404[c/a],B₂端口為0.408[c/a],B₃端口為0.386 [c/a],B₄端口為0.388[c/a],B₅端口為0.390[c/a],B₆端口為0.394[c/a],B₈端口為0.392[c/a],B₉端口為0.409[c/a]。更重要的是,此結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了多個(gè)器件沿堆疊方向的密度集成,集成器件的總尺寸為0.3 mm×0.3 mm×0.14 mm。這些研究結(jié)果可為緊湊集成電路的設(shè)計(jì)提供重要的理論指導(dǎo)。 

【文章來源】：北京化工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2020,47(03)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

2D- 3D異質(zhì)結(jié)整體結(jié)構(gòu)與3個(gè)

WDDM- 3示意圖以及B8和B9

WDDM- 3中B8和B9端口輸出的場分布圖


本文編號(hào)：3487061