多光譜關(guān)聯(lián)成像與傳統(tǒng)點到點的成像方式不同,該技術(shù)是采用調(diào)制、解調(diào)的方式獲取目標的圖像信息。搭建了一套基于固定相位板的單次曝光多光譜關(guān)聯(lián)成像系統(tǒng),完成了多光譜關(guān)聯(lián)成像系統(tǒng)中薄膜器件的研制。選擇BK7玻璃作為基底材料,氧化鈮（Nb₂O₅）和二氧化硅（SiO₂）為高、低折射率材料。根據(jù)光學薄膜基礎理論,結(jié)合膜系設計軟件進行膜系設計和模擬分析,通過建立膜系優(yōu)化評價函數(shù),實現(xiàn)了0°～30°入射450～700 nm帶通濾光膜的設計,并在OZZSQ900型箱式真空鍍膜機上完成了該薄膜的研制。通過優(yōu)化SiO₂膜沉積速率,改善了薄膜表面缺陷,降低了散射損耗。對膜層的殘余蒸鍍進行分析,利用最小二乘法建立膜層厚度與殘余蒸鍍量之間擬合函數(shù),調(diào)整監(jiān)控方式,減小殘余蒸鍍,提高了制備過程中膜厚控制精度。采用安捷倫Cary5000分光光度計測試,在350～440 nm和710～800 nm波段透過率T <0.5%,450～700 nm范圍內(nèi),光線入射角0°～30°時平均透過率T>98%的帶通濾波器,滿足系統(tǒng)使用要求,該... 

【文章來源】：紅外與激光工程. 2020,49(09)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3439564