采用量子化學(xué)的密度泛函理論計算,提出并研究了金屬有機化學(xué)氣相沉積（MOCVD）氣相過程中p型摻雜劑Cp₂Mg的反應(yīng)機理。特別判斷了不同溫度下各反應(yīng)進行的可能性。發(fā)現(xiàn)Cp₂Mg主要有兩條相互競爭的反應(yīng)路徑,加合路徑和氫解路徑。對于加合路徑,在293～573 K的溫度范圍內(nèi),會形成絡(luò)合物Cp₂Mg∶NH₃或Cp₂Mg∶（NH₃）₂。對于氫解路徑,氣相中的H自由基是一把"雙刃劍"。一方面H自由基對Cp₂Mg的分解有積極的輔助作用,明顯降低了Cp₂Mg的分解溫度;另一方面由于鈍化作用會形成Mg-H氣相絡(luò)合物,影響p型摻雜效果。 

【文章來源】：化工學(xué)報. 2020,71(07)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：9 頁

【文章目錄】：
引言
1 計算方法及驗證
2 結(jié)果與討論
    2.1 Cp2Mg與NH3的加合路徑（G1和G2)
    2.2 Cp2Mg中的第一個碳環(huán)氫解過程（G3～G8)
    2.3 Cp2Mg中的第二個碳環(huán)氫解過程（G9～G14)
    2.4 相關(guān)實驗證明
3 結(jié)論
符號說明



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