氧化鋅（ZnO）是Ⅱ-Ⅵ族中具有寬帶隙（3.37 eV）和激子結(jié)合能較高（60 meV）的半導(dǎo)體材料。與其它材料相比其激射波長更短,擁有更優(yōu)良的發(fā)光機能。其禁帶寬度對應(yīng)紫外光波長,因此在短波長激光器和紫外探測器等領(lǐng)域的開發(fā)有極高的潛力。ZnO基材料在發(fā)光與探測領(lǐng)域中有廣泛的應(yīng)用,但器件的一些性能有限還需進一步提高。因此本文針對現(xiàn)階段存在的一些不足展開了研究,在發(fā)光領(lǐng)域中,本文通過利用磁控濺射法制備了ZnO薄膜使其生長在藍寶石（Al₂O₃）襯底上,并在此基礎(chǔ)上設(shè)計了一種ZnO基電泵浦隨機激光器,證明該結(jié)構(gòu)可以產(chǎn)生低閾值的隨機激光。在探測領(lǐng)域中,本文通過利用COMSOL仿真軟件設(shè)計模擬了一種ZnO基紫外光電探測器,應(yīng)用表面等離子體共振效應(yīng)去提高光電探測器的光電性能。所取得主要成果如下:（1）本文利用磁控濺射法生成的ZnO納米陣列的基礎(chǔ)上,制備了Au/ZnO納米陣列/Au背靠背肖特基結(jié)構(gòu)的電泵浦隨機激光器,實現(xiàn)了ZnO基隨機激光器的低閾值激光發(fā)射,其閾值為2 A/cm²,其發(fā)光峰隨機分布在375 nm-400 nm之間,半寬度... 

【文章來源】：沈陽師范大學(xué)遼寧省

【文章頁數(shù)】：44 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

磁控濺射結(jié)構(gòu)示意圖

電阻加熱蒸發(fā)臺結(jié)構(gòu)示意圖

叉指電極的結(jié)構(gòu)圖

【參考文獻】：
期刊論文
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博士論文
[1]氧化鋅基紫外雪崩光電器件研究[D]. 于吉.中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所） 2013

碩士論文
[1]基于氧化鋅納米晶的紫外光電器件研究[D]. 張桐碩.沈陽師范大學(xué) 2016



本文編號：3426292