發(fā)布時(shí)間：2021-10-08 09:48

　　近帶邊折射率的準(zhǔn)確測(cè)量對(duì)于深紫外發(fā)光二極管和激光二極管的光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是非常重要的.通常,各向異性光學(xué)薄膜的折射率等光學(xué)常數(shù)可以通過變角度橢圓光譜儀測(cè)得.然而,這種方法仍存在一些局限性.本文提出了一種利用測(cè)量寬帶半導(dǎo)體帶邊折射率色散的有潛力方法,在1500 nm厚的AlN薄膜的熒光光譜中觀察到一種源于Fabry-Perot效應(yīng)的非周期振蕩發(fā)射現(xiàn)象.基于熒光光譜的特點(diǎn)以及Fabry-Perot效應(yīng)的定義, AlN薄膜在干涉加強(qiáng)和減弱處對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)的近帶邊o光折射率可以被直接獲得.這種折射率測(cè)量方法對(duì)于變角度橢圓光譜法是一種補(bǔ)充,對(duì)于轉(zhuǎn)移薄膜以及較薄樣品,測(cè)量其熒光光譜是一種更為直接而且有效的方法. 

【文章來(lái)源】：Science Bulletin. 2020,65(10)EISCICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3423919