發(fā)布時(shí)間：2021-09-27 21:07

　　氣體檢測在石油化學(xué)工業(yè)、醫(yī)學(xué)、大氣環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域發(fā)揮著非常重要作用。在眾多氣體檢測技術(shù)中,可調(diào)諧二極管激光吸收光譜（Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy,TDLAS）技術(shù)以靈敏度高、選擇性好、響應(yīng)速度快、可實(shí)時(shí)檢測等特點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用。氣體檢測的性能指標(biāo)提升極為重要。影響TDLAS系統(tǒng)性能提升的最重要指標(biāo)之一是檢測極限。檢測極限的改善主要受限于系統(tǒng)噪聲。而干涉條紋噪聲是TDLAS系統(tǒng)最重要的噪聲,抑制干涉條紋的最重要的方法是雙頻調(diào)制法和光程調(diào)制法,目前,仍缺乏系統(tǒng)性的理論研究。論文對采用波長調(diào)制（Wavelength Modulation Spectroscopy,WMS）技術(shù)的 TDLAS 系統(tǒng)中的干涉條紋進(jìn)行了深入研究,對目前的幾種干涉條紋抑制方法進(jìn)行理論分析,提出改進(jìn)方法。本文,以甲烷檢測為例,通過理論推導(dǎo),模型仿真和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證的方式開展研究。文章的主要工作和創(chuàng)新點(diǎn)如下:1.介紹了紅外氣體吸收檢測技術(shù),包括氣體分子光譜吸收理論以及WMS技術(shù)。介紹了檢測系統(tǒng)以及溫度控制。檢測系統(tǒng)包括光電檢測系統(tǒng)和機(jī)械光學(xué)系統(tǒng)。給出了溫度控制對檢測靈敏度... 

【文章來源】：山東大學(xué)山東省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：151 頁

【學(xué)位級別】：博士

【部分圖文】：

金屬氧化物半導(dǎo)體檢測器常見結(jié)構(gòu)hol

聲光譜技術(shù)??技術(shù)原理圖如圖１．４所示，通過對光調(diào)制，產(chǎn)生與檢測氣體吸收波信號，這種光聲信號被氣體吸收，氣體分子被激發(fā)且經(jīng)過弛豫過程，高，體積膨脹，膨脹產(chǎn)生壓強(qiáng)被麥克風(fēng)檢出，得到氣體濃度［５（）］。Ｐ種零背景測量技術(shù)，當(dāng)沒有光被吸收時(shí)，不會有信號產(chǎn)生，因而ＰＡ達(dá)到非常高的精度和靈敏度，但是它的缺點(diǎn)是對背景噪聲和振動(dòng)非，它不能連續(xù)測量，需要把待檢測氣體提前充入密閉氣室才能測量，量系統(tǒng)涉及到相對復(fù)雜的光學(xué)、聲學(xué)設(shè)備，它很難被廣泛應(yīng)用［２］。??＾?ｍｉｃｒｏｐｈｏｎｅ??ｒｐ：?Ａ?ｆ「丁丨??１?——ｊ—．．―士―——＾??ｌａｓｅｒ?ｂｅａｍ?＾?二?ｊ?？—??＾．－二￣￣??

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【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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[8]大氣二氧化碳探測差分吸收激光雷達(dá)技術(shù)研究[D]. 劉豪.中國科學(xué)院研究生院(上海技術(shù)物理研究所) 2015
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碩士論文
[1]基于氧化銦的半導(dǎo)體氣體傳感器的制備和研究[D]. 丁夢迪.吉林大學(xué) 2018
[2]基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收譜技術(shù)的甲烷濃度檢測[D]. 李志濤.電子科技大學(xué) 2017
[3]基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)溫度補(bǔ)償?shù)男滦蚆EMS瓦斯傳感器研制[D]. 金雷.中國礦業(yè)大學(xué) 2017
[4]TLAS系統(tǒng)中光學(xué)條紋干擾的機(jī)理、特性及消除方法研究[D]. 熊博.天津大學(xué) 2016
[5]瓦斯傳感器的封裝改進(jìn)與檢測方法研究[D]. 王文娟.中國礦業(yè)大學(xué) 2015
[6]車載激光天然氣泄漏檢測系統(tǒng)應(yīng)用研究[D]. 董曉舟.山東大學(xué) 2014
[7]基于TDLAS的氧氣測量儀器開發(fā)與非線性調(diào)諧研究[D]. 焦萌.天津大學(xué) 2014



本文編號：3410617