碳化硅功率器件技術(shù)綜述與展望
發(fā)布時間:2021-08-09 09:05
碳化硅(silicon carbide,Si C)器件作為一種寬禁帶半導(dǎo)體器件,具有耐高壓、高溫,導(dǎo)通電阻低等優(yōu)點。近20年來,Si C器件是國內(nèi)外學(xué)術(shù)界和企業(yè)界的一大研究熱點,該文對近些年來不同Si C器件的發(fā)展進行分類梳理,介紹二極管、結(jié)型場效應(yīng)晶體管、金氧半場效晶體管、絕緣柵雙極型晶體管及門極可斷晶閘管器件,并對比分析器件結(jié)構(gòu)及參數(shù)性能,針對關(guān)鍵問題展開論述。最后,對SiC器件近年的發(fā)展進行總結(jié)和展望。
【文章來源】:中國電機工程學(xué)報. 2020,40(06)北大核心EICSCD
【文章頁數(shù)】:13 頁
【部分圖文】:
SiC功率器件阻斷電壓與比導(dǎo)通電阻的關(guān)系比101103104105102阻斷電壓/VTMOSFETIGBTGTO
較遠,需通過生長缺陷密度更低的碳化硅外延材料以及開發(fā)成熟的增強壽命的工藝以滿足實際應(yīng)用場合大電流的需求。在開關(guān)器件中,JFET器件較為特殊,一般使用USCi公司的級聯(lián)結(jié)構(gòu),其特性與MOSFET相類似,但驅(qū)動對開關(guān)速度等參數(shù)的控制能力削弱。MOSFET器風力發(fā)電電動汽車高鐵直流輸電服務(wù)器、電信設(shè)備電源現(xiàn)有碳化硅器件能滿足的應(yīng)用范圍現(xiàn)有碳化硅器件還未能滿足的應(yīng)用范圍101電流等級/A100104102103103104102電壓等級/V光伏逆變圖9SiC功率器件主要應(yīng)用場合Fig.9MajorapplicationareasofSiCpowerdevices
【參考文獻】:
期刊論文
[1]Design and fabrication of a 3.3 kV 4H-SiC MOSFET[J]. 黃潤華,陶永洪,柏松,陳剛,汪玲,劉奧,衛(wèi)能,李赟,趙志飛. Journal of Semiconductors. 2015(09)
[2]常關(guān)型亞微米溝道1200V SiC MOSFET[J]. 黃潤華,陶永洪,柏松,陳剛,汪玲,劉奧,衛(wèi)能,李赟,趙志飛. 固體電子學(xué)研究與進展. 2014(05)
[3]Development of 10 kV 4H-SiC JBS diode with FGR termination[J]. 黃潤華,陶永洪,曹鵬飛,汪玲,陳剛,柏松,栗瑞,李赟,趙志飛. Journal of Semiconductors. 2014(07)
[4]碳化硅電力電子器件在電力系統(tǒng)的應(yīng)用展望[J]. 盛況,郭清,張軍明,錢照明. 中國電機工程學(xué)報. 2012(30)
本文編號:3331786
【文章來源】:中國電機工程學(xué)報. 2020,40(06)北大核心EICSCD
【文章頁數(shù)】:13 頁
【部分圖文】:
SiC功率器件阻斷電壓與比導(dǎo)通電阻的關(guān)系比101103104105102阻斷電壓/VTMOSFETIGBTGTO
較遠,需通過生長缺陷密度更低的碳化硅外延材料以及開發(fā)成熟的增強壽命的工藝以滿足實際應(yīng)用場合大電流的需求。在開關(guān)器件中,JFET器件較為特殊,一般使用USCi公司的級聯(lián)結(jié)構(gòu),其特性與MOSFET相類似,但驅(qū)動對開關(guān)速度等參數(shù)的控制能力削弱。MOSFET器風力發(fā)電電動汽車高鐵直流輸電服務(wù)器、電信設(shè)備電源現(xiàn)有碳化硅器件能滿足的應(yīng)用范圍現(xiàn)有碳化硅器件還未能滿足的應(yīng)用范圍101電流等級/A100104102103103104102電壓等級/V光伏逆變圖9SiC功率器件主要應(yīng)用場合Fig.9MajorapplicationareasofSiCpowerdevices
【參考文獻】:
期刊論文
[1]Design and fabrication of a 3.3 kV 4H-SiC MOSFET[J]. 黃潤華,陶永洪,柏松,陳剛,汪玲,劉奧,衛(wèi)能,李赟,趙志飛. Journal of Semiconductors. 2015(09)
[2]常關(guān)型亞微米溝道1200V SiC MOSFET[J]. 黃潤華,陶永洪,柏松,陳剛,汪玲,劉奧,衛(wèi)能,李赟,趙志飛. 固體電子學(xué)研究與進展. 2014(05)
[3]Development of 10 kV 4H-SiC JBS diode with FGR termination[J]. 黃潤華,陶永洪,曹鵬飛,汪玲,陳剛,柏松,栗瑞,李赟,趙志飛. Journal of Semiconductors. 2014(07)
[4]碳化硅電力電子器件在電力系統(tǒng)的應(yīng)用展望[J]. 盛況,郭清,張軍明,錢照明. 中國電機工程學(xué)報. 2012(30)
本文編號:3331786
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