隨著越來越多的IC測試儀在集成電路行業(yè)被生產(chǎn)和使用,IC測試儀的校準(zhǔn)工作也變得越來越不可或缺。為了確保IC測試儀的各項性能指標(biāo)都能達(dá)到測試使用要求,保證IC測試儀上各測試模塊的測量準(zhǔn)確度,需要對IC測試儀進(jìn)行全面的校準(zhǔn)。論文主要任務(wù)是對IC測試儀各功能模塊的各項參數(shù)的校準(zhǔn)方法進(jìn)行研究,提出具體的IC測試儀整體校準(zhǔn)方案,設(shè)計相應(yīng)的硬件電路并進(jìn)行相關(guān)的校準(zhǔn)調(diào)試工作以對校準(zhǔn)方案進(jìn)行全面的驗證。具體的研究內(nèi)容主要有以下幾個方面:1、分析IC測試儀系統(tǒng)的特性及性能指標(biāo),明確校準(zhǔn)目標(biāo),找出需要進(jìn)行校準(zhǔn)的功能模塊標(biāo)準(zhǔn)參數(shù),并確定這些被校準(zhǔn)參數(shù)的規(guī)定指標(biāo);2、研究需要校準(zhǔn)的參數(shù)的特點,根據(jù)具體的參數(shù)特性設(shè)計具有針對性的校準(zhǔn)方案,并保證校準(zhǔn)設(shè)計方案的可行性;3、根據(jù)IC測試儀校準(zhǔn)方案的設(shè)計要求,完成IC測試儀校準(zhǔn)硬件電路即校準(zhǔn)板的設(shè)計,并具體分析校準(zhǔn)板的設(shè)計過程;4、通過反復(fù)進(jìn)行IC測試儀校準(zhǔn)調(diào)試,驗證校準(zhǔn)方案的可行性并分析校準(zhǔn)數(shù)據(jù),進(jìn)而完善校準(zhǔn)設(shè)計方案以滿足相關(guān)性能指標(biāo)。 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：73 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

DIB板連接示意圖

第二章集成電路測試儀及其校準(zhǔn)7圖2-2DPS供電原理圖3）CUB板CUB板作為測試機(jī)控制的核心，主要提供數(shù)據(jù)的分發(fā)和回傳，將數(shù)據(jù)分發(fā)至數(shù)字通道板和DPS板，并將下面各功能板上回傳的數(shù)據(jù)接收轉(zhuǎn)發(fā)至上位機(jī)。上面還有一些輔助控制位，在需要時可以設(shè)置傳輸相關(guān)控制信號。4）DIB板DIB（deviceinterfaceboard）板是連接IC測試儀與被測器件的一個接口板，一面與數(shù)字通道板、DPS板和CUB板上一些信號（數(shù)字通道信號、電源信號、控制信號等等）通過彈簧針（PogoPin）連接到DIB板上的彈簧焊盤（PogoPad）上；一面通過DUT（deviceundertest）插槽將這些相關(guān)信號接出并連接到被測器件上，供測試使用。如圖2-3所示，每個數(shù)字通道板有上下兩個彈簧針接口，通過這些接口把數(shù)字通道板上的相關(guān)信號連接到DIB板上。目前課題中的IC測試儀測試系統(tǒng)上的DIB板上有4個DUT插槽（SLOT0-SLOT3），單個DUT插槽上有64個數(shù)字通道。如圖2-4所示。圖2-3DIB板連接示意圖

電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文8圖2-4DIB板上的4個DUT插槽5）背板背板連接CUB板、數(shù)字通道板和DPS板，上面接入系統(tǒng)電源，并給CUB板和數(shù)字通道板提供插槽。2.1.2IC測試儀上位機(jī)軟件2.1.2.1工程開發(fā)軟件工程開發(fā)軟件是執(zhí)行IC測試儀測試的軟件工具，是進(jìn)行IC測試儀測試最直觀、最主要的人機(jī)交互界面。用戶將被測器件資料進(jìn)行信息提取后，將測試管腳的信息及測試流程按照數(shù)據(jù)模板錄入相應(yīng)的表格中，然后控制數(shù)據(jù)的下發(fā)，并將測試結(jié)果輸出。工程開發(fā)界面由一系列的表單組成：PinMap（管腳定義）ChannelMap（通道映射關(guān)系定義）GlobalSpecs（全局參數(shù)設(shè)置）AC/DCSpecs（交/直流電平設(shè)置）Pinlevel（管腳電平設(shè)置）TimeSets(Basic)（時間參數(shù)設(shè)置）EdgeSets（邊沿參數(shù)設(shè)置）TestInstance（測試實例）Characterization（特征掃描表）FlowTable（測試流程）

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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