天堂国产午夜亚洲专区-少妇人妻综合久久蜜臀-国产成人户外露出视频在线-国产91传媒一区二区三区

當前位置:主頁 > 科技論文 > 電子信息論文 >

帶柵場板和新型漏場板的AlGaN/GaN HEMT器件耐壓特性研究

發(fā)布時間:2021-08-02 02:36
  GaN材料是典型的第三代寬禁帶半導體材料,在高壓、高功率領(lǐng)域有廣闊前景。AlGaN/GaN HEMT與Si基器件相比,具有更高的電子遷移率、更高的擊穿電場等諸多優(yōu)勢,在功率電子器件領(lǐng)域已經(jīng)成為研究熱點之一。近年來,關(guān)于耐壓型AlGaN/GaN HEMT的研究很多,也取得了很多成果,但即使到目前為止,AlGaN/GaN HEMT器件的最大擊穿電壓距離其理論極限值仍然有很大差距。為進一步提高AlGaN/GaN HEMT的耐壓特性,本文基于Synopsys公司的Sentaurus TCAD仿真軟件,建立了AlGaN/GaN HEMT器件模型,通過求解二維泊松方程,獲得了其表面電場和體內(nèi)電場分布。在此基礎(chǔ)上,研究了緩沖層引入不同能級受主陷阱后AlGaN/Ga N HEMT的泄漏電流,結(jié)果表明引入深能級受主陷阱才可以有效降低緩沖層泄漏電流,單純引入淺能級受主陷阱無法實現(xiàn)此目的。之后研究了緩沖層引入不同濃度受主陷阱后AlGaN/GaN HEMT的泄漏電流,結(jié)果表明,只有引入受主陷阱的濃度超過緩沖層施主態(tài)雜質(zhì)濃度時,泄漏電流才可以得到有效抑制。論文還分析了AlGaN/GaN HEMT溝道電場峰值的產(chǎn)... 

【文章來源】:西安電子科技大學陜西省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】:77 頁

【學位級別】:碩士

【文章目錄】:
摘要
ABSTRACT
符號對照表
縮略語對照表
第一章 緒論
    1.1 論文背景和研究意義
    1.2 AlGaN/GaN HEMT器件耐壓特性研究現(xiàn)狀
    1.3 論文主要內(nèi)容和結(jié)構(gòu)安排
第二章 AlGaN/GaN HEMT基礎(chǔ)理論和Sentaurus軟件介紹
    2.1 AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié) 2DEG的成因
        2.1.1 極化效應
        2.1.2 2DEG的來源
    2.2 AlGaN/GaN HEMT的基本結(jié)構(gòu)和工作原理
    2.3 工藝制備增強型AlGaN/GaN HEMT的方法
    2.4 AlGaN/GaN HEMT擊穿機制和改進方法
    2.5 Sentaurus TCAD軟件簡介
    2.6 本章小結(jié)
第三章 AlGaN/GaN HEMT緩沖層受主陷阱對泄漏電流影響
    3.1 AlGaN/GaN HEMT泄漏電流的形成原因
    3.2 緩沖層受主陷阱對泄漏電流的影響
        3.2.1 受主陷阱濃度對泄漏電流影響
        3.2.2 受主陷阱能級對泄漏電流影響
    3.3 緩沖層受主陷阱對輸出特性的影響
    3.4 緩沖層厚度對泄漏電流影響
    3.5 本章小結(jié)
第四章 柵場板與間斷型漏場板復合結(jié)構(gòu)的耐壓研究
    4.1 溝道電場峰值的成因分析
    4.2 柵場板結(jié)構(gòu)AlGaN/GaN HEMT仿真優(yōu)化
        4.2.1 柵場板的長度優(yōu)化
        4.2.2 鈍化層的厚度優(yōu)化
    4.3 間斷型漏場板對漏端電場峰值的調(diào)節(jié)作用
    4.4 柵場板與間斷型漏場板復合結(jié)構(gòu)的優(yōu)化結(jié)果總結(jié)
    4.5 柵場板與間斷型漏場板復合結(jié)構(gòu)的提高擊穿電壓機理分析
        4.5.1 柵場板平整電場的機理分析
        4.5.2 間斷漏場板調(diào)制電場的機理分析
    4.6 柵場板與間斷型漏場板復合結(jié)構(gòu)的工藝流程
    4.7 本章小結(jié)
第五章 總結(jié)和展望
參考文獻
致謝
作者簡介



本文編號:3316716

資料下載
論文發(fā)表

本文鏈接:http://sikaile.net/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/3316716.html


Copyright(c)文論論文網(wǎng)All Rights Reserved | 網(wǎng)站地圖 |

版權(quán)申明:資料由用戶f2018***提供,本站僅收錄摘要或目錄,作者需要刪除請E-mail郵箱bigeng88@qq.com