半導(dǎo)體硅片是集成電路制造所需要關(guān)鍵襯底材料,在此領(lǐng)域數(shù)據(jù)分析備受關(guān)注,大數(shù)據(jù)日益廣泛的數(shù)據(jù)化時(shí)代,把大數(shù)據(jù)策略結(jié)合硅片加工制備的工程知識(shí)應(yīng)用于實(shí)際的硅片生產(chǎn)制造的研究具有非常實(shí)際的應(yīng)用價(jià)值。隨著集成電路技術(shù)的快速進(jìn)步,對(duì)硅片的品質(zhì)要求不斷提高,傳統(tǒng)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和單純的材料科學(xué)的工程知識(shí)已經(jīng)不足以應(yīng)對(duì)多因素交織和復(fù)雜多變的實(shí)際生產(chǎn)。在硅片品質(zhì)分析和優(yōu)化品質(zhì)方面,以數(shù)理統(tǒng)計(jì)為背景的數(shù)據(jù)分析技術(shù)逐漸地獲得認(rèn)可,且越來越廣泛地應(yīng)用于生產(chǎn)制造的各方面。隨著計(jì)算機(jī)和互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的飛速進(jìn)步,數(shù)據(jù)分析技術(shù)在各領(lǐng)域得到應(yīng)用。數(shù)據(jù)分析技術(shù)與各領(lǐng)域?qū)W科交叉形成一些新的學(xué)科分支。本文以半導(dǎo)體硅片為研究對(duì)象,主旨在于改進(jìn)硅片的幾何參數(shù)品質(zhì),基于數(shù)據(jù)挖掘和機(jī)器學(xué)習(xí)策略,對(duì)硅片的幾何參數(shù)檢測原始數(shù)據(jù)（raw-data）進(jìn)行挖掘和分析,在主體框架上可分為診斷和預(yù)報(bào)兩個(gè)部分:在診斷部分,主要是以硅片制造環(huán)節(jié)中的切割、研磨和酸腐蝕工位的異常品的形狀為分析對(duì)象,實(shí)現(xiàn)了異常品的自動(dòng)化診斷;在預(yù)報(bào)部分,主要以酸腐蝕為研究對(duì)象,通過分析酸腐蝕剝離去除形狀的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),建立了酸腐蝕過程經(jīng)驗(yàn)?zāi)Ｐ筒⑶蠼?在一定程度上可以預(yù)報(bào)不同工藝條件下酸腐... 

【文章來源】：北京有色金屬研究總院北京市

【文章頁數(shù)】：70 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．２雙面研磨設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖??

化學(xué)機(jī)械拋光也是利用平坦的圓盤向硅片施所指的化學(xué)機(jī)械拋光是半導(dǎo)體硅襯底制造當(dāng)中的集成電路制造制備出鏡面化的表面。一般來說，拋坦度的幾何參數(shù)有改善的效果。按照貼片的機(jī)理。有蠟拋光顧名思義是利用蠟的黏性，使用特制附在特制的平板上，使表面得以平坦地鏡面化。硅片，利用水的虹吸原理使硅片貼在載具內(nèi)［３Ｍ３］。取片不需要特別的裝備，甚至可以手工實(shí)現(xiàn)，且，所以效率和成本上優(yōu)于有蠟拋光。但無蠟拋光，故而平整度相對(duì)較差；有蠟拋光中，硅片與平坦面支撐，故此在平坦度方面有優(yōu)勢。硅片尺寸上局平整度和局部平整度的技術(shù)規(guī)格要求，一般裝置原理示意圖［３４］。??

內(nèi)的坐標(biāo)、相應(yīng)坐標(biāo)點(diǎn)上硅片的厚度、平坦度、局部翹曲等數(shù)據(jù)信息［４１］。在獲得了逐??點(diǎn)掃描數(shù)據(jù)（ｒａｗ?ｄａｔａ）之后，檢測設(shè)備會(huì)根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定算法利用ｒａｗ?ｄａｔａ計(jì)算??硅片各項(xiàng)幾何參數(shù)的數(shù)據(jù)，例如厚度、ＴＴＶ、ＴＩＲ、Ｂｏｗ、Ｗａｒｐ等。圖１．４是檢測設(shè)??備對(duì)硅片進(jìn)行轉(zhuǎn)掃檢測時(shí)的采點(diǎn)位置：??１００??Ｅ?５０??〇??’?－５〇??－ｌｏｏｔ????—?—??－１００?－５０?０?５０?１００??ａｌｏｎｇ?Ｘ?ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ?（ｍｍ）??圖１．４測量系統(tǒng)轉(zhuǎn)掃采點(diǎn)位置??目前硅片制造環(huán)節(jié)，主要利用硅片的厚度、ＴＴＶ、Ｂｏｗ、Ｗａｐ等計(jì)算結(jié)果作為品??質(zhì)檢驗(yàn)和合格率考察的數(shù)值依據(jù)。鑒于同樣品質(zhì)指標(biāo)的硅片，其形狀可能是不同的，??６??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號(hào)：3274489