隨著微電子制造封裝裝備性能的不斷提高,其關(guān)鍵運動部件——運動平臺的高速高加速度運動特性與精密定位性能已成為影響裝備整機性能的關(guān)鍵因素之一。高速度高加速度與高精度快速定位間的矛盾問題,是當前精密運動平臺研發(fā)中的關(guān)鍵難題,對其進行深入研究并探索有效解決方案,對我國先進封裝裝備的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化發(fā)展前景具有重要意義。晶圓級倒裝裝備中運動平臺的核心就是各個伺服直驅(qū)軸,在對晶圓級倒裝裝備中的伺服直驅(qū)軸進行調(diào)試時,發(fā)現(xiàn)如下兩個難題:第一,由于伺服系統(tǒng)的剛性不夠,如果對伺服直驅(qū)軸的快速響應(yīng)性能要求過高會導致系統(tǒng)產(chǎn)生共振,嚴重時甚至會破壞機械結(jié)構(gòu);第二,由于軟件延時和硬件延時的存在,電機在運動過程中也會存在一定程度的滯后,嚴重影響運動平臺的快速響應(yīng)。由于以上兩個問題的存在,伺服直驅(qū)軸的高加速度高速度與精密定位難以得到保障,進而降低了整機的工作效率。本文主要研究了伺服直驅(qū)軸在高速高加速運動的條件下如何實現(xiàn)快速精準定位,同時開展了對振動抑制方法和快速定位方法的研究,設(shè)計了一個控制器,提出通過在伺服控制器中加入陷波濾波器和前饋控制器來抑制系統(tǒng)的機械振動和提升系統(tǒng)的快速響應(yīng)性能的方法。通過軟件仿真和實驗研究,... 

【文章來源】：廣東工業(yè)大學廣東省

【文章頁數(shù)】：87 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

所示的三相平面坐標系abc與兩

表 2-1 晶圓級倒裝裝備中焊接的 X 方向直線電機參數(shù)表Table 2-1 BHX motor parameter list下，假設(shè)電機氣隙均勻，忽略磁路飽和、磁滯、渦流略端部效應(yīng)。通過建立如圖 2-3 所示的三相平面坐系 - 以及轉(zhuǎn)子坐標系 d q，可以推導出直線電機方程以及機械運動方程，并依此得出直線電機的數(shù)學

圖 2-7 BHX 軸 10Hz 時的輸入輸出響應(yīng)曲線Fig. 2-7 Input and output response curve of BHX axis at 10Hz圖 2-8 BHX 軸 30Hz 時的輸入輸出相應(yīng)曲線

【參考文獻】：
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本文編號：3211675