針對目前半導(dǎo)體裝備生產(chǎn)環(huán)境中的懸浮分子級污染物無線監(jiān)測系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)可靠性差、部署成本高,設(shè)計了一種基于K連通的AMC無線監(jiān)測系統(tǒng)。基于Zig Bee網(wǎng)絡(luò),路由層應(yīng)用了鏈路優(yōu)化的K連通算法,構(gòu)建了一拖多式的終端數(shù)據(jù)采集節(jié)點、低功耗路由節(jié)點和數(shù)據(jù)匯總分析平臺。實驗結(jié)果表明:該系統(tǒng)可以對AMC數(shù)據(jù)進(jìn)行有效采集、存儲和分析,優(yōu)化的K連通網(wǎng)絡(luò),降低了網(wǎng)絡(luò)丟包率和路由延遲,有助于提高網(wǎng)絡(luò)的可靠性。該系統(tǒng)符合半導(dǎo)體裝備生產(chǎn)環(huán)境中AMC的監(jiān)測需求,網(wǎng)絡(luò)節(jié)點的設(shè)計有助于降低系統(tǒng)部署成本,網(wǎng)絡(luò)性能較優(yōu)。 

【文章來源】：兵器裝備工程學(xué)報. 2020,41(10)北大核心

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 AMC監(jiān)測系統(tǒng)方案設(shè)計
    1.1 系統(tǒng)硬件結(jié)構(gòu)
        1.1.1 一拖多式終端數(shù)據(jù)采集節(jié)點
        1.1.2 低功耗路由節(jié)點
        1.1.3 數(shù)據(jù)匯總平臺
    1.2 系統(tǒng)應(yīng)用層調(diào)度機制
2 基于K連通的AMC監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)路由算法
    2.1 典型K連通路由算法分析
    2.2 K連通路由算法優(yōu)化
3 測試與分析
    3.1 系統(tǒng)實用性測試與分析
    3.2 K連通算法可靠性測試與分析
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]單晶硅晶片化學(xué)機械拋光基本特性研究[J]. 侯保江,安亞青,水涌濤,孫向春.  兵器裝備工程學(xué)報. 2019(06)
[2]基于BQ24105的鋰離子電池充電管理模塊設(shè)計與實現(xiàn)[J]. 任勇峰,董琳琳,劉東海.  兵器裝備工程學(xué)報. 2020(02)
[3]無線傳感器節(jié)點信號線的電磁防護(hù)實驗研究[J]. 江長建,陳雯柏,郝翠,蘭少峰.  兵器裝備工程學(xué)報. 2019(01)
[4]一種物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)層次型抗毀性拓?fù)錁?gòu)建方法[J]. 陳雯柏,崔曉麗,郝翠,王文凱.  北京郵電大學(xué)學(xué)報. 2018(05)
[5]AMC在潔凈室中的監(jiān)測與控制[J]. 胡亞南.  技術(shù)與市場. 2017(12)
[6]工業(yè)超潔凈環(huán)境設(shè)計關(guān)鍵技術(shù)的研究[J]. 劉根,蔣澄燦,芮曉光,廖黎莉,芮延年.  機械設(shè)計與制造工程. 2016(11)
[7]潔凈室AMC淺析[J]. 孫晟.  潔凈與空調(diào)技術(shù). 2015(02)
[8]障礙物對無線傳感器網(wǎng)絡(luò)信道影響試驗[J]. 曹惠茹,苑俊英,郭中華,成海秀,王琳,羅沛.  傳感技術(shù)學(xué)報. 2014(08)
[9]基于無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的芯片生產(chǎn)環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)[J]. 田勇,唐禎安,喻言.  傳感技術(shù)學(xué)報. 2013(10)

碩士論文
[1]zigbee網(wǎng)絡(luò)抗干擾技術(shù)的研究與實現(xiàn)[D]. 冉君軍.西南科技大學(xué) 2018
[2]半導(dǎo)體代工廠潔凈室的設(shè)計、監(jiān)控和管理案例分析[D]. 周金鋒.上海交通大學(xué) 2008



本文編號：3193938