飛秒激光燒蝕單晶硅材料過程中會(huì)伴隨衍生等離子體發(fā)光,由CCD相機(jī)采集等離子體的光輻射信號(hào)可獲得激光燒蝕光斑圖像。針對(duì)光斑圖像核心燒蝕區(qū)域易受光暈、燒蝕熱過渡區(qū)域等因素影響問題,提出了燒蝕光斑圖像的雙邊濾波增強(qiáng)結(jié)合模糊C均值聚類（FCM）分割策略,將光斑不同區(qū)域分割出來(lái)。首先,采用主成分分析（PCA）方法對(duì)光斑圖像進(jìn)行主成分提取,增強(qiáng)圖像并去除噪聲影響。其次,在PCA提取的第一主成分圖像基礎(chǔ)上,用雙邊濾波對(duì)光斑圖像進(jìn)一步增強(qiáng)處理,突出了光斑核心目標(biāo)區(qū)域的層次。最后,采用模糊C-均值聚類（FCM）將光斑圖像的各個(gè)區(qū)域精確的分割出來(lái)。通過與Canny算子結(jié)合高斯濾波的光斑圖像分割效果對(duì)比表明,本文提出的光斑圖像分割方法,對(duì)光斑核心區(qū)域、光斑細(xì)節(jié)及光斑層次分割方面具有優(yōu)勢(shì)。 

【文章來(lái)源】：激光與紅外. 2020,50(05)北大核心CSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引 言
2 燒蝕光斑圖像的主成分提取
2 光斑圖像的雙邊濾波
3 模糊C-均值聚類的光斑圖像分割
5 結(jié) 論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]融合密度峰值和空間鄰域信息的FCM聚類算法[J]. 周世波,徐維祥,徐良坤.  儀器儀表學(xué)報(bào). 2019(04)



本文編號(hào)：3172231