利用COMOSL多物理場(chǎng)有限元軟件,對(duì)無(wú)孔、圓形孔、正方形孔、菱形孔四種新型折疊梁形橋面結(jié)構(gòu)Fabry-Perot（F-P）腔可調(diào)諧濾波器進(jìn)行了電壓-位移、應(yīng)力和鏡面平整度仿真,以優(yōu)選最佳的橋面結(jié)構(gòu)。結(jié)果顯示,在相同驅(qū)動(dòng)電壓下,菱形孔橋面的位移最大。同時(shí),橋面達(dá)到相同位移時(shí),菱形孔橋面所需的驅(qū)動(dòng)電壓最小,并且菱形孔橋面的應(yīng)力和平整度也能滿足濾波器的設(shè)計(jì)要求。利用Essential Macleod軟件對(duì)優(yōu)選出的菱形孔橋面結(jié)構(gòu)濾波器進(jìn)行了濾波性能分析,結(jié)果表明,濾波器在3～5μm的光譜調(diào)諧范圍內(nèi),具有良好的濾波效果,可以滿足低電壓驅(qū)動(dòng)和寬調(diào)諧范圍的要求。 

【文章來(lái)源】：半導(dǎo)體光電. 2020,41(02)北大核心

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【文章目錄】：
0 引言
1 基于MEMS技術(shù)的F-P腔可調(diào)諧濾波器結(jié)構(gòu)
2 四種橋面結(jié)構(gòu)的仿真
    2.1 電壓-位移分析
    2.2 應(yīng)力分析
    2.3 鏡面平整度分析
3 優(yōu)選的橋面結(jié)構(gòu)的濾波分析
4 結(jié)論



本文編號(hào)：3155214