電子封裝用Sn-Ag-Cu系低銀含硼無(wú)鉛釬料的研究
發(fā)布時(shí)間:2021-04-10 22:23
當(dāng)前,隨著電子工業(yè)的蓬勃發(fā)展,帶來(lái)了對(duì)電子封裝微互連釬料的高要求。截至目前,以綜合性能良好的Sn-Ag-Cu無(wú)鉛釬料作為傳統(tǒng)非環(huán)保型Sn-Pb釬料合金的良好替代品,其近共晶成分無(wú)鉛釬料Sn-3.0Ag-0.5Cu(SAC305)具有熔點(diǎn)較低、潤(rùn)濕性好的優(yōu)點(diǎn)而在電子工業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用。但SAC305釬料的含銀量為3.0wt%,帶來(lái)了較高的成本,并使得貴金屬Ag的資源負(fù)擔(dān)日益加重。實(shí)際應(yīng)用中,粗大的金屬間化合物(IMC)也成為其潛在的失效形式。因此,目前研究的熱點(diǎn)在于低銀釬料合金。然而,低銀無(wú)鉛釬料存在著諸如較高的熔點(diǎn)、較差的潤(rùn)濕性和較低的力學(xué)性能,在服役過(guò)程中,亦會(huì)由于界面處脆性IMC層生長(zhǎng)速度過(guò)快而導(dǎo)致焊接性能差、界面裂紋萌生等問(wèn)題,造成可靠性下降。鑒于此,本文引入微量元素B(硼)制備了Sn-1.0Ag-0.5Cu(SAC105)低銀含B無(wú)鉛釬料合金以改善SAC105釬料的性能。由于B屬于高熔點(diǎn)、難混溶元素,首先通過(guò)機(jī)械合金化的方式制備了SAC105高B中間合金,分析了其合金化進(jìn)程。而后以合金化程度最高,球磨72h后的SAC105+10B中間合金為原料,配比含微量B的新型釬料合金S...
【文章來(lái)源】:北京有色金屬研究總院北京市
【文章頁(yè)數(shù)】:130 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【部分圖文】:
圖1.1微電子封裝中的分級(jí)模型[6I??Fig.?1.1?Hierarchical?model?in?microelectronic?packaging161??
焊點(diǎn)服役過(guò)程中的可靠性問(wèn)題,此時(shí)IMC的增長(zhǎng)問(wèn)題變得非常尖銳[32_34]。值得注意??的是,互連系統(tǒng)中雜質(zhì)的存在也可能對(duì)IMC層的性能產(chǎn)生顯著影響。??1.3.1?Sn-Ag-Cu系無(wú)鉛釬料的研宄背景??各種錫基的無(wú)鉛釬料中,共晶和近共晶Sn-Ag-Cu?(SAC)合金已被確定為Sn-Pb??合金的主要替代候選材料[5],是使用最廣泛的釬料添加金屬。他們具有應(yīng)用廣,蠕變??速度較慢,同時(shí)顯示出良好的接頭強(qiáng)度和延展性[351。在熱疲勞試驗(yàn)中,SAC合金也能??夠保持良好的性能[36],并且在非極端的熱循環(huán)條件下優(yōu)于Sn-Pb合金。此外,SAC釬??料合金比Sn-Pb釬料更耐金脆化。焊接組件的可靠性取決于互連的微觀結(jié)構(gòu),其演化??受溫度、應(yīng)力和電流密度的強(qiáng)烈影響。因此,了解在焊點(diǎn)合金的微觀組織對(duì)于理解互??連微結(jié)構(gòu)如何隨時(shí)間推移發(fā)展是至關(guān)重要的[37]。??對(duì)于SAC合金,其顯微結(jié)構(gòu)為[341:初生相Ag3Sn、初生相Cu6Sn5、初生相p-Sn、??Ag3Sn+p-Sn、Cu6Sn5+(3-Sn、Ag3Sn+Cu6Sn5?和共晶?P-Sn+AgsSn+CufiSns。SAC?合金中??存在的微觀組織通常包含板條狀Ag3Sn、針狀Cu6Sn5、初生樹(shù)枝狀p-Sn等形貌,如??圖1.3所示。??
1.4.1.1焊點(diǎn)界面的擴(kuò)散模型??焊點(diǎn)在凝固過(guò)程中,界面金屬間化合物Cu6Sn5之間存在納米級(jí)的擴(kuò)散通道[39],??焊點(diǎn)界面處Cu、Sn及IMC擴(kuò)散模型如圖1.5所示。圖1.5(a)描述了焊點(diǎn)界面中Cu的??原子通量,從Cu基板到1MC/釬料界面的原子通量用表示。進(jìn)入釬料和IMC界面??中的Cu原子擴(kuò)散主要包含三種路徑I6'如圖1.5(b)所示:??(1)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]微電子封裝的發(fā)展歷史和新動(dòng)態(tài)[J]. 華冰鑫,李敏,劉淑紅. 產(chǎn)業(yè)與科技論壇. 2017(16)
[2]Cu/Sn/Cu界面元素的擴(kuò)散行為研究現(xiàn)狀[J]. 李揚(yáng),李曉延,姚鵬,梁曉波. 電子元件與材料. 2017(07)
[3]微納連接技術(shù)研究進(jìn)展[J]. 王尚,田艷紅. 材料科學(xué)與工藝. 2017(05)
[4]高能球磨法制備MgB2超導(dǎo)材料的研究進(jìn)展[J]. 楊芳,閆果,張平祥,王慶陽(yáng),熊曉梅,李少?gòu)?qiáng),馮建情,李成山,馮勇. 稀有金屬材料與工程. 2017(05)
[5]微電子封裝技術(shù)的優(yōu)勢(shì)與應(yīng)用[J]. 雷勇颋. 技術(shù)與市場(chǎng). 2016(11)
[6]基于SMT技術(shù)的組裝新工藝探討[J]. 趙少偉,張婧亮,韓春. 電子工藝技術(shù). 2016(04)
[7]材料基因組計(jì)劃與第一性原理高通量計(jì)算[J]. 范曉麗. 中國(guó)材料進(jìn)展. 2015(09)
[8]Sn-Ag-Cu系無(wú)鉛釬料的研究進(jìn)展[J]. 孫磊,張亮. 電焊機(jī). 2014(12)
[9]Cr對(duì)Sn-3.0Ag-0.5Cu無(wú)鉛焊料抗氧化性能的影響[J]. 金帥,胡強(qiáng),安寧,朱學(xué)新,趙新明,徐駿. 稀有金屬. 2014(04)
[10]二元互不溶體系中納米晶過(guò)飽和固溶體機(jī)械合金化的研究進(jìn)展[J]. 吳志方,周帆. 材料導(dǎo)報(bào). 2014(13)
博士論文
[1]微型化無(wú)鉛焊點(diǎn)界面反應(yīng)及力學(xué)性能研究[D]. 楊帆.大連理工大學(xué) 2016
[2]Cu/Sn/Cu(Ni)結(jié)構(gòu)中金屬間化合物微焊點(diǎn)的組織演化及力學(xué)性能研究[D]. 莫麗萍.華中科技大學(xué) 2016
[3]12Cr-ODS鐵基高溫合金的機(jī)械合金化制備及其組織性能研究[D]. 姚振華.華中科技大學(xué) 2011
[4]新型高純微電子封裝材料的研究與開(kāi)發(fā)[D]. 田曉偉.復(fù)旦大學(xué) 2011
[5]Sn-Ag-Zn系無(wú)鉛焊料及其連接界面組織形成與演化規(guī)律[D]. 韋晨.天津大學(xué) 2009
[6]集成電力電子模塊封裝技術(shù)的研究[D]. 王建岡.南京航空航天大學(xué) 2006
碩士論文
[1]三維疊層芯片封裝的可靠性研究[D]. 藍(lán)業(yè)頃.電子科技大學(xué) 2014
[2]新型低銀無(wú)鉛電子釬料研究[D]. 張群超.北京有色金屬研究總院 2012
[3]電子封裝互連材料的研究[D]. 潘其林.復(fù)旦大學(xué) 2012
[4]電遷移條件下無(wú)鉛焊點(diǎn)基體溶解的研究[D]. 潘松.大連理工大學(xué) 2012
[5]應(yīng)用于三維疊層封裝的硅通孔(TSV)建模及傳熱和加載分析[D]. 王宏明.西安電子科技大學(xué) 2012
[6]微焊點(diǎn)界面的柯肯達(dá)爾孔洞生長(zhǎng)及其抑制研究[D]. 鄒建.華中科技大學(xué) 2011
[7]SnAgCu/Cu界面金屬間化合物長(zhǎng)大規(guī)律[D]. 李鳳輝.北京工業(yè)大學(xué) 2007
[8]SMT系統(tǒng)中焊點(diǎn)位置的檢測(cè)[D]. 吳志明.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2006
本文編號(hào):3130438
【文章來(lái)源】:北京有色金屬研究總院北京市
【文章頁(yè)數(shù)】:130 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【部分圖文】:
圖1.1微電子封裝中的分級(jí)模型[6I??Fig.?1.1?Hierarchical?model?in?microelectronic?packaging161??
焊點(diǎn)服役過(guò)程中的可靠性問(wèn)題,此時(shí)IMC的增長(zhǎng)問(wèn)題變得非常尖銳[32_34]。值得注意??的是,互連系統(tǒng)中雜質(zhì)的存在也可能對(duì)IMC層的性能產(chǎn)生顯著影響。??1.3.1?Sn-Ag-Cu系無(wú)鉛釬料的研宄背景??各種錫基的無(wú)鉛釬料中,共晶和近共晶Sn-Ag-Cu?(SAC)合金已被確定為Sn-Pb??合金的主要替代候選材料[5],是使用最廣泛的釬料添加金屬。他們具有應(yīng)用廣,蠕變??速度較慢,同時(shí)顯示出良好的接頭強(qiáng)度和延展性[351。在熱疲勞試驗(yàn)中,SAC合金也能??夠保持良好的性能[36],并且在非極端的熱循環(huán)條件下優(yōu)于Sn-Pb合金。此外,SAC釬??料合金比Sn-Pb釬料更耐金脆化。焊接組件的可靠性取決于互連的微觀結(jié)構(gòu),其演化??受溫度、應(yīng)力和電流密度的強(qiáng)烈影響。因此,了解在焊點(diǎn)合金的微觀組織對(duì)于理解互??連微結(jié)構(gòu)如何隨時(shí)間推移發(fā)展是至關(guān)重要的[37]。??對(duì)于SAC合金,其顯微結(jié)構(gòu)為[341:初生相Ag3Sn、初生相Cu6Sn5、初生相p-Sn、??Ag3Sn+p-Sn、Cu6Sn5+(3-Sn、Ag3Sn+Cu6Sn5?和共晶?P-Sn+AgsSn+CufiSns。SAC?合金中??存在的微觀組織通常包含板條狀Ag3Sn、針狀Cu6Sn5、初生樹(shù)枝狀p-Sn等形貌,如??圖1.3所示。??
1.4.1.1焊點(diǎn)界面的擴(kuò)散模型??焊點(diǎn)在凝固過(guò)程中,界面金屬間化合物Cu6Sn5之間存在納米級(jí)的擴(kuò)散通道[39],??焊點(diǎn)界面處Cu、Sn及IMC擴(kuò)散模型如圖1.5所示。圖1.5(a)描述了焊點(diǎn)界面中Cu的??原子通量,從Cu基板到1MC/釬料界面的原子通量用表示。進(jìn)入釬料和IMC界面??中的Cu原子擴(kuò)散主要包含三種路徑I6'如圖1.5(b)所示:??(1)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]微電子封裝的發(fā)展歷史和新動(dòng)態(tài)[J]. 華冰鑫,李敏,劉淑紅. 產(chǎn)業(yè)與科技論壇. 2017(16)
[2]Cu/Sn/Cu界面元素的擴(kuò)散行為研究現(xiàn)狀[J]. 李揚(yáng),李曉延,姚鵬,梁曉波. 電子元件與材料. 2017(07)
[3]微納連接技術(shù)研究進(jìn)展[J]. 王尚,田艷紅. 材料科學(xué)與工藝. 2017(05)
[4]高能球磨法制備MgB2超導(dǎo)材料的研究進(jìn)展[J]. 楊芳,閆果,張平祥,王慶陽(yáng),熊曉梅,李少?gòu)?qiáng),馮建情,李成山,馮勇. 稀有金屬材料與工程. 2017(05)
[5]微電子封裝技術(shù)的優(yōu)勢(shì)與應(yīng)用[J]. 雷勇颋. 技術(shù)與市場(chǎng). 2016(11)
[6]基于SMT技術(shù)的組裝新工藝探討[J]. 趙少偉,張婧亮,韓春. 電子工藝技術(shù). 2016(04)
[7]材料基因組計(jì)劃與第一性原理高通量計(jì)算[J]. 范曉麗. 中國(guó)材料進(jìn)展. 2015(09)
[8]Sn-Ag-Cu系無(wú)鉛釬料的研究進(jìn)展[J]. 孫磊,張亮. 電焊機(jī). 2014(12)
[9]Cr對(duì)Sn-3.0Ag-0.5Cu無(wú)鉛焊料抗氧化性能的影響[J]. 金帥,胡強(qiáng),安寧,朱學(xué)新,趙新明,徐駿. 稀有金屬. 2014(04)
[10]二元互不溶體系中納米晶過(guò)飽和固溶體機(jī)械合金化的研究進(jìn)展[J]. 吳志方,周帆. 材料導(dǎo)報(bào). 2014(13)
博士論文
[1]微型化無(wú)鉛焊點(diǎn)界面反應(yīng)及力學(xué)性能研究[D]. 楊帆.大連理工大學(xué) 2016
[2]Cu/Sn/Cu(Ni)結(jié)構(gòu)中金屬間化合物微焊點(diǎn)的組織演化及力學(xué)性能研究[D]. 莫麗萍.華中科技大學(xué) 2016
[3]12Cr-ODS鐵基高溫合金的機(jī)械合金化制備及其組織性能研究[D]. 姚振華.華中科技大學(xué) 2011
[4]新型高純微電子封裝材料的研究與開(kāi)發(fā)[D]. 田曉偉.復(fù)旦大學(xué) 2011
[5]Sn-Ag-Zn系無(wú)鉛焊料及其連接界面組織形成與演化規(guī)律[D]. 韋晨.天津大學(xué) 2009
[6]集成電力電子模塊封裝技術(shù)的研究[D]. 王建岡.南京航空航天大學(xué) 2006
碩士論文
[1]三維疊層芯片封裝的可靠性研究[D]. 藍(lán)業(yè)頃.電子科技大學(xué) 2014
[2]新型低銀無(wú)鉛電子釬料研究[D]. 張群超.北京有色金屬研究總院 2012
[3]電子封裝互連材料的研究[D]. 潘其林.復(fù)旦大學(xué) 2012
[4]電遷移條件下無(wú)鉛焊點(diǎn)基體溶解的研究[D]. 潘松.大連理工大學(xué) 2012
[5]應(yīng)用于三維疊層封裝的硅通孔(TSV)建模及傳熱和加載分析[D]. 王宏明.西安電子科技大學(xué) 2012
[6]微焊點(diǎn)界面的柯肯達(dá)爾孔洞生長(zhǎng)及其抑制研究[D]. 鄒建.華中科技大學(xué) 2011
[7]SnAgCu/Cu界面金屬間化合物長(zhǎng)大規(guī)律[D]. 李鳳輝.北京工業(yè)大學(xué) 2007
[8]SMT系統(tǒng)中焊點(diǎn)位置的檢測(cè)[D]. 吳志明.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2006
本文編號(hào):3130438
本文鏈接:http://sikaile.net/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/3130438.html
最近更新
教材專著