為了分析易解理的脆性氧化鎵晶體的精密加工過程中材料去除機(jī)理,采用金剛石壓頭、G200型納米壓痕儀,分別對氧化鎵晶體的（100）和（010） 2個(gè)主要晶面的納米力學(xué)性能進(jìn)行了試驗(yàn)研究。納米壓痕試驗(yàn)發(fā)現(xiàn):2個(gè)晶面都有"pop-in"現(xiàn)象,首次出現(xiàn)pop-in的載荷分別為:4.31 m N和5.42 m N。通過變載荷納米劃痕試驗(yàn)和VK-X110激光顯微系統(tǒng)觀測,發(fā)現(xiàn)2個(gè)晶面都有"pile-up"現(xiàn)象,刻劃過程中期均出現(xiàn)了塑性域加工特征,（100）和（010）晶面的塑性域加工切削深度范圍分別是96.5～576.8 nm和84.6～421.6 nm。 

【文章來源】：硅酸鹽學(xué)報(bào). 2020,48(01)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：5 頁

【部分圖文】：

壓痕卸載過程截面示意圖

通過AFM對壓痕及周圍表面形貌進(jìn)行觀察，當(dāng)壓痕載荷為10 m N時(shí)，AFM記錄的壓痕底部凹陷見圖4a所示。當(dāng)壓痕載荷為100 m N時(shí)，不僅壓痕底部凹陷，壓痕表面兩側(cè)還出現(xiàn)凸起(如圖4c所示)。壓痕截面輪廓如圖4b和圖4d所示。這表明氧化鎵晶體在加載過程中出現(xiàn)pile-up現(xiàn)象[16]，即壓痕周圍出現(xiàn)了凸起現(xiàn)象。圖3 首次出現(xiàn)pop-in時(shí)的載荷–位移曲線的局部放大圖

首次出現(xiàn)pop-in時(shí)的載荷–位移曲線的局部放大圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]Ag-GNSs/SnAgCu釬料納米壓痕變形行為研究[J]. 徐連勇,張舒婷,荊洪陽,韓永典.  機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2018(08)
[2]用納米壓痕復(fù)合掃描電子顯微鏡分析水泥砂漿中單一組相的力學(xué)性能(英文)[J]. 高岳毅,張亞梅,胡傳林,李宗津.  硅酸鹽學(xué)報(bào). 2012(11)

博士論文
[1]輻照/壓痕載荷/表面圖形化條件下藍(lán)寶石單晶性能研究[D]. 柯瑞.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2014



本文編號：3118277