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基于局部保持嵌入-K近鄰比率密度的半導(dǎo)體蝕刻過程故障診斷策略

發(fā)布時(shí)間:2021-03-26 07:02
  針對(duì)多模態(tài)間歇過程存在數(shù)據(jù)維度高且方差差異較大的特征,提出一種基于局部保持嵌入–K近鄰比率密度(NPE–KRD)規(guī)則的故障檢測方法.首先,利用局部保持嵌入(NPE)方法將原始的高維數(shù)據(jù)投影到低維空間;其次,在低維空間通過計(jì)算樣本的密度及其前K近鄰密度的均值來建立K近鄰比率密度(KRD);最后,根據(jù)核密度估計(jì)法確定統(tǒng)計(jì)量控制限并進(jìn)行故障診斷. NPE方法既能夠在低維空間保持?jǐn)?shù)據(jù)局部近鄰結(jié)構(gòu),又能夠降低故障檢測過程的計(jì)算復(fù)雜度.通過引入比率密度, NPE–KRD可以降低多模態(tài)方差結(jié)構(gòu)差異對(duì)故障檢測的影響,提高過程故障檢測率.通過數(shù)值例子和半導(dǎo)體工業(yè)過程的仿真實(shí)驗(yàn),并與主元分析、K近鄰、局部保持嵌入等方法進(jìn)行比較,驗(yàn)證了本文方法的有效性. 

【文章來源】:控制理論與應(yīng)用. 2020,37(06)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】:7 頁

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于獨(dú)立元的k近鄰故障檢測策略[J]. 張成,高憲文,徐濤,李元,逄玉俊.  控制理論與應(yīng)用. 2018(06)
[2]基于判別核主元空間k近鄰的批次過程監(jiān)視[J]. 張成,郭青秀,李元.  計(jì)算機(jī)應(yīng)用. 2018(08)



本文編號(hào):3101179

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