投影光刻物鏡是光刻機的核心部件。隨著光刻技術(shù)的發(fā)展,對投影光刻物鏡成像質(zhì)量的要求也越來越高。系統(tǒng)波像差不但是評價投影光刻物鏡成像質(zhì)量的客觀指標(biāo)之一,也是后期精修和裝調(diào)光刻物鏡的依據(jù)。因此物鏡系統(tǒng)波像差檢測是提高光刻水平的核心技術(shù)之一。國外光刻物鏡供應(yīng)商均研發(fā)專用的系統(tǒng)波像差檢測設(shè)備,但為了保持其技術(shù)優(yōu)勢,不可能向我國提供此類高精度的檢測設(shè)備。光柵橫向剪切干涉技術(shù)是最具發(fā)展?jié)摿Φ耐队拔镧R波像差檢測技術(shù),在此領(lǐng)域開展相關(guān)研究,對推動我國光刻機產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。本文研究了光柵橫向剪切干涉測量中抑制零級串?dāng)_的相移相位復(fù)原算法設(shè)計方法。由于光柵橫向剪切干涉儀中不可避免的存在零級串?dāng)_,所設(shè)計的剪切干涉儀需要特別設(shè)計能夠有效的抑制零級串?dāng)_誤差的算法。針對這個問題提出了一種奇數(shù)步相移相位復(fù)原算法的設(shè)計方法,并根據(jù)零級串?dāng)_和相移誤差的影響程度設(shè)計了A和B兩類相位復(fù)原算法。A類算法包含四種相位復(fù)原算法,在保持對零級串?dāng)_誤差相同抑制能力的同時,具有不同程度的抑制相移誤差的能力。理論分析結(jié)果表明:四種算法的相位復(fù)原誤差均與二倍復(fù)原相位的正弦成正比,同時四種算法的相位復(fù)原誤差分別與相移誤差的平方、四次方、... 

【文章來源】：中國科學(xué)院大學(xué)(中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所)吉林省

【文章頁數(shù)】：116 頁

【學(xué)位級別】：博士

【部分圖文】：

泰曼-格林干涉儀原理圖

圖 1.2 FISBA 公司的 FST 系列干涉儀e 1.2 The interferometer of FST series of FISBA companizeau)提出了菲索干涉儀，經(jīng)過不斷地發(fā)展，干涉測量設(shè)備[32-36]。國際上，菲索干涉儀的代表移干涉儀，如圖 1.3 所示。在國內(nèi)，南京英特

光刻物鏡系統(tǒng)波像差橫向剪切干涉測量研究出了一系列不同口徑的菲索型數(shù)字激光相移干涉儀。但相對于國外產(chǎn)品需進一步提高，尚未占領(lǐng)國內(nèi)高端干涉儀的市場。菲索干涉儀測量光學(xué)差的原理如圖 1.4 所示。通過針孔濾波的相干光被準(zhǔn)直鏡準(zhǔn)直為平行光鏡；一部分光經(jīng)過參考鏡，被高精度的參考面反射回分束鏡形成參考光部分透過參考鏡的光束通過待測系統(tǒng)后被反射回分束鏡形成測試光束；參考光束和測試光束合為一束，進入成像系統(tǒng)成像在 CCD 探測器上發(fā)通過移動參考鏡引入相移，獲得相移干涉圖序列；通過處理相移干涉圖光學(xué)系統(tǒng)的波像差信息。相對于泰曼-格林干涉儀，菲索干涉儀由于采設(shè)計而不易受機械振動和空氣擾動等環(huán)境誤差的影響。但由于采用長相光源，需要采取特殊措施來降低相干噪聲的影響。

【參考文獻】：
期刊論文
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博士論文
[1]極紫外光刻物鏡系統(tǒng)波像差檢測技術(shù)研究[D]. 張宇.中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所） 2012
[2]超高精度菲索干涉儀不確定度分析[D]. 張健.中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所） 2011



本文編號：3094947