金屬-半導體-金屬光電探測器（MSM-PDs）本身固有的高速、高響應率、易集成等特性使其在光纖通信、傳感、制導等多個領域受到廣泛關注。文中圍繞金屬-無機半導體-金屬光電探測器展開綜述。首先介紹了MSM-PDs的基本結構,包含共面和垂直兩種類型。緊接著,介紹了MSM-PDs具體的工作原理,除了常見的光電導型及肖特基型工作原理,還介紹了以金屬作為吸光層的熱載流子光電探測器的工作原理。隨后,詳細介紹了以GaAs、InGaAs、Si/Ge等無機材料作為半導體層的MSM-PDs在過去所取得的研究進展。此外,還介紹了利用金屬微納結構拓展較寬帶隙半導體材料MSM-PDs在紅外波段響應特性的研究進展。最后,總結全文并對MSM-PDs未來的發(fā)展做出了展望。 

【文章來源】：紅外與激光工程. 2020,49(08)北大核心

【文章頁數】：19 頁

【參考文獻】：
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本文編號：3070261