對(duì)Angelov直流FET模型進(jìn)行改進(jìn),并應(yīng)用同一遺傳算法對(duì)改進(jìn)前后的模型進(jìn)行全局直流模型參數(shù)提取,平均相對(duì)誤差分別為4.58%和1.8%。將模型計(jì)算值與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比,結(jié)果表明,改進(jìn)后的模型能更加準(zhǔn)確地描述AlGaN/GaN HEMT源漏電流隨柵、漏電壓變化的全局直流輸出特性,從而為AlGaN/GaN HEMT提供一種準(zhǔn)確的全局直流模型和精確的參數(shù)提取方法。 

【文章來(lái)源】：微電子學(xué). 2017,47(03)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【部分圖文】：

圖１原始Ａｎｇｅｌｏｖ模型算法計(jì)算輸出特性與實(shí)驗(yàn)測(cè)量輸出特性對(duì)比圖

層為２５ｎｍＡｌＧａＮ，Ａｌ組分為３０％，柵長(zhǎng)為０．５μｍ，柵寬為１００μｍ，柵源間距為０．７μｍ，柵漏間距為２．８μｍ。采用同一遺傳算法分別對(duì)改進(jìn)前后的Ａｎｇｅｌｏｖ模型進(jìn)行求解，并將模型計(jì)算值與實(shí)驗(yàn)測(cè)試值進(jìn)行對(duì)比，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)由Ｋｅｉｔｈｌｅｙ４２００－ＳＣＳ測(cè)量所得。對(duì)比結(jié)果如圖１～圖４所示，具體參數(shù)提取值如表１、表２所示。圖１原始Ａｎｇｅｌｏｖ模型算法計(jì)算輸出特性與實(shí)驗(yàn)測(cè)量輸出特性對(duì)比圖圖２改進(jìn)Ａｎｇｅｌｏｖ模型算法計(jì)算輸出特性與實(shí)驗(yàn)測(cè)量輸出特性對(duì)比圖圖３原始Ａｎｇｅｌｏｖ模型算法計(jì)算輸出特性與實(shí)驗(yàn)測(cè)量轉(zhuǎn)移特性對(duì)比圖圖４改進(jìn)Ａｎｇｅｌｏｖ模型算法計(jì)算輸出特性與實(shí)驗(yàn)測(cè)量轉(zhuǎn)移特性對(duì)比圖表１原始Ａｎｇｅｌｏｖ模型的參數(shù)提取值參數(shù)數(shù)值參數(shù)數(shù)值Ｉｐｋ／Ａ０．０３６８β－０．２８２３γ－０．０３１６Ｖｐｋ０／Ｖ－０．６１８８Ｐ１０．４６８６λ－０．０１１７Ｐ２－０．０１００α０．５０３２Ｐ３９．９１５７－－表２改進(jìn)Ａｎｇｅｌｏｖ模型參數(shù)提取值參數(shù)數(shù)值參數(shù)數(shù)值Ｉｐｋ／Ａ０．０３３１λ１／Ｖ１．３２３７γ－０．０１７９λ２／Ｖ－０．９９５４Ｐ１０．９２３４λ３／Ｖ０．０４０７Ｐ２－０．００９５Ｖｐｋ０／Ｖ－０．８１９６Ｐ３－１．０６７９λ５．４８６１β－０．３３３４α０．５４４６為了比較同一種算法對(duì)改進(jìn)前后模型的參數(shù)提取結(jié)果，定義平均相對(duì)誤差函數(shù)為：ＲＲＭＥ＝１ＮＭ∑Ｎｉ＝１∑Ｍｊ＝１

柵寬為１００μｍ，柵源間距為０．７μｍ，柵漏間距為２．８μｍ。采用同一遺傳算法分別對(duì)改進(jìn)前后的Ａｎｇｅｌｏｖ模型進(jìn)行求解，并將模型計(jì)算值與實(shí)驗(yàn)測(cè)試值進(jìn)行對(duì)比，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)由Ｋｅｉｔｈｌｅｙ４２００－ＳＣＳ測(cè)量所得。對(duì)比結(jié)果如圖１～圖４所示，具體參數(shù)提取值如表１、表２所示。圖１原始Ａｎｇｅｌｏｖ模型算法計(jì)算輸出特性與實(shí)驗(yàn)測(cè)量輸出特性對(duì)比圖圖２改進(jìn)Ａｎｇｅｌｏｖ模型算法計(jì)算輸出特性與實(shí)驗(yàn)測(cè)量輸出特性對(duì)比圖圖３原始Ａｎｇｅｌｏｖ模型算法計(jì)算輸出特性與實(shí)驗(yàn)測(cè)量轉(zhuǎn)移特性對(duì)比圖圖４改進(jìn)Ａｎｇｅｌｏｖ模型算法計(jì)算輸出特性與實(shí)驗(yàn)測(cè)量轉(zhuǎn)移特性對(duì)比圖表１原始Ａｎｇｅｌｏｖ模型的參數(shù)提取值參數(shù)數(shù)值參數(shù)數(shù)值Ｉｐｋ／Ａ０．０３６８β－０．２８２３γ－０．０３１６Ｖｐｋ０／Ｖ－０．６１８８Ｐ１０．４６８６λ－０．０１１７Ｐ２－０．０１００α０．５０３２Ｐ３９．９１５７－－表２改進(jìn)Ａｎｇｅｌｏｖ模型參數(shù)提取值參數(shù)數(shù)值參數(shù)數(shù)值Ｉｐｋ／Ａ０．０３３１λ１／Ｖ１．３２３７γ－０．０１７９λ２／Ｖ－０．９９５４Ｐ１０．９２３４λ３／Ｖ０．０４０７Ｐ２－０．００９５Ｖｐｋ０／Ｖ－０．８１９６Ｐ３－１．０６７９λ５．４８６１β－０．３３３４α０．５４４６為了比較同一種算法對(duì)改進(jìn)前后模型的參數(shù)提取結(jié)果，定義平均相對(duì)誤差函數(shù)為：ＲＲＭＥ＝１ＮＭ∑Ｎｉ＝１∑Ｍｊ＝１Ｉｄｓｉｊ－ＩｍｅａｉｊＩｄｓｉｊ（７）通過(guò)計(jì)算，得到原

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3001057