通過使用化學(xué)氣相沉積法,成功制備出超長(zhǎng)、大尺寸的Sb摻雜ZnO微米線.基于非平衡電橋原理,利用單根Sb摻雜ZnO微米線作為非平衡電橋的一個(gè)橋臂,制作出了可以在室溫環(huán)境下工作的氣敏傳感器原型器件.結(jié)果表明:室溫下測(cè)得該傳感器對(duì)20,50,100和200 ppm (1 ppm=10^-6)不同濃度的丙酮及乙醇?xì)怏w的響應(yīng)-恢復(fù)曲線均呈現(xiàn)為矩形形狀,在空氣及被測(cè)氣體中均有穩(wěn)定的電流值,并隨著探測(cè)氣體濃度的增大,器件的響應(yīng)值也在逐漸增加.此外,還發(fā)現(xiàn)器件對(duì)丙酮?dú)怏w具有更好的選擇性,當(dāng)丙酮?dú)怏w濃度為200 ppm時(shí),該傳感器的響應(yīng)時(shí)間為0.2 s,恢復(fù)時(shí)間為0.3 s,響應(yīng)度高達(dá)243%.通過與普通電導(dǎo)式氣敏傳感器對(duì)比發(fā)現(xiàn),采用這種非平衡電橋結(jié)構(gòu)傳感器可以明顯地提高響應(yīng)度,使響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間更快.此外,還研究了器件的氣體探測(cè)機(jī)理. 

【文章來源】：物理學(xué)報(bào). 2020,69(03)北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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