近年來,隨著國家政策扶持和市場需求不斷增長,我國LED產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展。根據(jù)一些權威機構的研究表明,無論是LED芯片生產(chǎn)材料還是生產(chǎn)加工設備對于LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展都至關重要。目前我國大多數(shù)的LED芯片生產(chǎn)都處于手工或半自動狀態(tài),生產(chǎn)設備自動化程度低、生產(chǎn)效率低、嚴重依賴進口。在LED芯片眾多生產(chǎn)工序中,芯片上蠟是一項必不可少的工序,因為合格的襯底是外延片的基礎,也是進行下一步生產(chǎn)加工的前提。因此,研究和開發(fā)國產(chǎn)的全自動化上蠟機就顯得尤為緊迫和重要。本文根據(jù)市場需求和LED芯片上蠟的工藝要求設計出一套高效的全自動上蠟機,實現(xiàn)了整個上蠟過程的自動化,且上蠟后蠟層的厚度和均勻程度均達到生產(chǎn)工藝規(guī)定的要求。根據(jù)工藝要求明確設備上蠟效果和上蠟效率,最終確定設備的設計目標和設計方案。上蠟效果必須保證襯底底部任何一處均有蠟層,且蠟層均勻,厚度在2-5μm之間,上蠟效率必須達到整個上蠟流程時間在5分鐘左右。根據(jù)設計目標確定詳細設計方案,進而對上蠟設備進行參數(shù)選型與總體結(jié)構設計。主要有回轉(zhuǎn)機構設計、升降移動機構設計、搬運瓷盤機構設計、預熱和冷卻盤總裝設計、冷卻下壓機構設計等。實現(xiàn)了上蠟過程的全自動化,提高了上... 

【文章來源】：吉林大學吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：85 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

LED芯片制程流程

根據(jù)資料顯示，早在2008半自動上蠟機，隨后該公司又相繼推出了圖1.2所示。該公司所生產(chǎn)的這幾種設備放置盤，人工上/下陶瓷盤等低下。（a）L24SWN上蠟機圖1.2圖1.3（a）和1.3（b）中，這兩臺設備的工作流程均需要操作人員依據(jù)時間與經(jīng)驗手動完成（a）GMS-SSL360上蠟機因此，SPEEDFAM公司和凱勒斯公司流程時間長、人工成本高、而占據(jù)市場較大份額的韓國上蠟機，如圖1.4所示。吉林大學碩士學位論文）、凱勒斯科技有限公司（臺灣）、不二越株式會社年，SPEEDFAM公司就開發(fā)完成了該公司的第一臺隨后該公司又相繼推出了24SWM和32/36SWM兩款半自動上蠟機該公司所生產(chǎn)的這幾種設備均需要人工上陶瓷盤，人工將藍寶石片等。因此，該公司設備自動化程度低、人工成本高（b）32/36SWM上蠟機1.2 SPEEDFAM公司半自動上蠟機）是由凱勒斯公司研制的兩款半自動上蠟。這兩臺設備的工作流程均需要操作人員依據(jù)時間與經(jīng)驗手動完成（b）GDLS-45F上蠟機圖1.3 凱勒斯公司上蠟機公司和凱勒斯公司的半自動上蠟機

（a）L24SWN上蠟機圖1.2圖1.3（a）和1.3（b）中，這兩臺設備的工作流程均需要操作人員依據(jù)時間與經(jīng)驗手動完成（a）GMS-SSL360上蠟機因此，SPEEDFAM公司和凱勒斯公司流程時間長、人工成本高、而占據(jù)市場較大份額的韓國上蠟機，如圖1.4所示。吉林大學碩士學位論文）、凱勒斯科技有限公司（臺灣）、不二越株式會社年，SPEEDFAM公司就開發(fā)完成了該公司的第一臺隨后該公司又相繼推出了24SWM和32/36SWM兩款半自動上蠟機該公司所生產(chǎn)的這幾種設備均需要人工上陶瓷盤，人工將藍寶石片等。因此，該公司設備自動化程度低、人工成本高（b）32/36SWM上蠟機1.2 SPEEDFAM公司半自動上蠟機）是由凱勒斯公司研制的兩款半自動上蠟。這兩臺設備的工作流程均需要操作人員依據(jù)時間與經(jīng)驗手動完成（b）GDLS-45F上蠟機圖1.3 凱勒斯公司上蠟機公司和凱勒斯公司的半自動上蠟機，均存在自動化程度低、效率低下等缺點。占據(jù)市場較大份額的韓國NTS公司

【參考文獻】：
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本文編號：2970720