GaSb/InSb/InP紅外探測(cè)器結(jié)構(gòu)的MOCVD生長(zhǎng)及紅外特性研究
發(fā)布時(shí)間:2020-12-30 19:01
目前,在紅外通訊、氣體監(jiān)測(cè)、遙感技術(shù)等領(lǐng)域,對(duì)3-5μm波段的半導(dǎo)體紅外探測(cè)器均有著迫切的需求。而非制冷紅外探測(cè)器因無(wú)須制冷設(shè)備而便于實(shí)現(xiàn)器件的集成化與探測(cè)系統(tǒng)的輕量化,具有低功耗、低成本、良好的穩(wěn)定性等優(yōu)勢(shì),因此具有重要的應(yīng)用前景。InSb作為一種窄禁帶半導(dǎo)體材料,在量子效率、響應(yīng)速度等方面優(yōu)勢(shì)明顯,因此是制備紅外探測(cè)器的一種理想材料。但是InSb內(nèi)的復(fù)合機(jī)制導(dǎo)致相關(guān)器件的輸出噪聲過(guò)高,因而難以滿足非制冷紅外探測(cè)器的發(fā)展要求。為了解決InSb紅外探測(cè)器在室溫下高復(fù)合噪聲的問(wèn)題,本文提出采用GaSb與InP兩種禁帶較寬的材料分別作為P層與N層,制備一種GaSb/InSb/InP異質(zhì)PIN結(jié)構(gòu)。在這種結(jié)構(gòu)中,P層GaSb與N層InP分別傳輸空穴與電子;非故意摻雜的InSb材料作為I層,負(fù)責(zé)吸收紅外輻射并產(chǎn)生非平衡載流子,從而形成光電流。這種異質(zhì)PIN結(jié)構(gòu)具有兩個(gè)明顯的優(yōu)勢(shì):首先,由于GaSb與InP兩種材料的禁帶寬度較大,復(fù)合機(jī)制的復(fù)合率通常遠(yuǎn)小于InSb材料,使得光生載流子在P層與N層中具有更長(zhǎng)的壽命。這不僅能夠降低探測(cè)器內(nèi)部由于復(fù)合機(jī)制而引發(fā)的噪聲電流,同時(shí)能夠提升器件的量子效率。同...
【文章來(lái)源】:吉林大學(xué)吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁(yè)數(shù)】:110 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
紅外輻射的大氣透射光譜
圖 1.2 紅外探測(cè)器發(fā)展歷史紅外探測(cè)器主要可分為光子探測(cè)器與熱探測(cè)器。在光子探測(cè)器中,紅外輻射過(guò)與電子的相互作用被材料吸收,產(chǎn)生的輸出電信號(hào)源自于電子能量分布的變。因此,光子探測(cè)器對(duì)紅外輻射的響應(yīng)具有波長(zhǎng)依賴性,并且具有理想的信噪
圖 1.3 部分 III-V 族化合物的晶格常數(shù)與禁帶寬度(300K),銻化物材料還具有諸多優(yōu)良的電學(xué)與光學(xué)特性[35],普遍具有量小、遷移率高、直接帶隙等特性,因此銻化物材料在高速器件研究與制備領(lǐng)域中,有很大的發(fā)展?jié)摿36, 37]。在光纖通訊、空間
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]非制冷紅外成像系統(tǒng)在陸軍裝備中的應(yīng)用現(xiàn)狀及趨勢(shì)[J]. 李煜,陸強(qiáng),白丕績(jī). 紅外技術(shù). 2017(07)
[2]非制冷紅外焦平面探測(cè)器及其技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)[J]. 馮濤,金偉其,司俊杰. 紅外技術(shù). 2015(03)
[3]新型低維結(jié)構(gòu)銻化物紅外探測(cè)器的研究與挑戰(zhàn)[J]. 王國(guó)偉,徐應(yīng)強(qiáng),牛智川. 中國(guó)科學(xué):物理學(xué) 力學(xué) 天文學(xué). 2014(04)
[4]銻化物超晶格紅外探測(cè)器的研究進(jìn)展[J]. 李彥波,劉超,張楊,趙杰,曾一平. 固體電子學(xué)研究與進(jìn)展. 2010(01)
[5]銻化物半導(dǎo)體材料與器件應(yīng)用研究進(jìn)展[J]. 劉超,曾一平. 半導(dǎo)體技術(shù). 2009(06)
[6]室溫紅外探測(cè)器研究與進(jìn)展[J]. 劉興明,韓琳,劉理天. 電子器件. 2005(02)
碩士論文
[1]GaN基LED電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與模擬[D]. 劉毅.西安電子科技大學(xué) 2010
本文編號(hào):2948140
【文章來(lái)源】:吉林大學(xué)吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁(yè)數(shù)】:110 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
紅外輻射的大氣透射光譜
圖 1.2 紅外探測(cè)器發(fā)展歷史紅外探測(cè)器主要可分為光子探測(cè)器與熱探測(cè)器。在光子探測(cè)器中,紅外輻射過(guò)與電子的相互作用被材料吸收,產(chǎn)生的輸出電信號(hào)源自于電子能量分布的變。因此,光子探測(cè)器對(duì)紅外輻射的響應(yīng)具有波長(zhǎng)依賴性,并且具有理想的信噪
圖 1.3 部分 III-V 族化合物的晶格常數(shù)與禁帶寬度(300K),銻化物材料還具有諸多優(yōu)良的電學(xué)與光學(xué)特性[35],普遍具有量小、遷移率高、直接帶隙等特性,因此銻化物材料在高速器件研究與制備領(lǐng)域中,有很大的發(fā)展?jié)摿36, 37]。在光纖通訊、空間
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]非制冷紅外成像系統(tǒng)在陸軍裝備中的應(yīng)用現(xiàn)狀及趨勢(shì)[J]. 李煜,陸強(qiáng),白丕績(jī). 紅外技術(shù). 2017(07)
[2]非制冷紅外焦平面探測(cè)器及其技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)[J]. 馮濤,金偉其,司俊杰. 紅外技術(shù). 2015(03)
[3]新型低維結(jié)構(gòu)銻化物紅外探測(cè)器的研究與挑戰(zhàn)[J]. 王國(guó)偉,徐應(yīng)強(qiáng),牛智川. 中國(guó)科學(xué):物理學(xué) 力學(xué) 天文學(xué). 2014(04)
[4]銻化物超晶格紅外探測(cè)器的研究進(jìn)展[J]. 李彥波,劉超,張楊,趙杰,曾一平. 固體電子學(xué)研究與進(jìn)展. 2010(01)
[5]銻化物半導(dǎo)體材料與器件應(yīng)用研究進(jìn)展[J]. 劉超,曾一平. 半導(dǎo)體技術(shù). 2009(06)
[6]室溫紅外探測(cè)器研究與進(jìn)展[J]. 劉興明,韓琳,劉理天. 電子器件. 2005(02)
碩士論文
[1]GaN基LED電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與模擬[D]. 劉毅.西安電子科技大學(xué) 2010
本文編號(hào):2948140
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