微電子技術(shù)被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和國防軍事領(lǐng)域,印刷電子作為其中一項重要技術(shù)正在逐步取代傳統(tǒng)的制造技術(shù)。印刷電子與傳統(tǒng)制造技術(shù)相比,具有方法簡單,成本低,綠色環(huán)保等優(yōu)點。印刷電子所使用的眾多打印技術(shù)中,噴墨打印以其無須使用印版、低功耗、襯底柔性化等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用,它可以將配置好的功能性墨水精確地噴附在目標(biāo)位置,高溫固化后形成薄膜圖案或者目標(biāo)器件。對于功能性墨水,特別是導(dǎo)電墨水的研究是微電子制造技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵。目前,銀基導(dǎo)電墨水已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在薄膜晶體管、射頻電感和傳感器等領(lǐng)域中制造金屬互連線。然而,由于銀互連線自身的電遷移現(xiàn)象及價格高昂等劣勢制約其大規(guī)模應(yīng)用。因此,取代銀基墨水的最佳選擇學(xué)界普遍認(rèn)為是銅基導(dǎo)電墨水。在銅導(dǎo)電墨水的研究中,銅基無顆粒型導(dǎo)電墨水以其高穩(wěn)定性、熱處理溫度低等優(yōu)點被廣泛關(guān)注。本文以四水甲酸銅為金屬前驅(qū)體,采用1,2-丙二胺、異丙胺、正丁胺、辛胺、乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、3-（二乙胺基）-1,2-丙二醇作為絡(luò)合劑,采用液相混合法,配置了七種四水甲酸銅基無顆粒型導(dǎo)電墨水。通過對實驗數(shù)據(jù)分析,發(fā)現(xiàn)絡(luò)合劑對于導(dǎo)電墨水的穩(wěn)定性、熱處理溫度以及熱處理后形成導(dǎo)電薄膜的表... 

【文章來源】：遼寧大學(xué)遼寧省 211工程院校

【文章頁數(shù)】：54 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

玻璃基材清潔處理流程圖

第2章甲酸銅基無顆粒型導(dǎo)電墨水絡(luò)合劑的選擇12取定量的導(dǎo)電墨水①至⑦分別滴圖在方形玻璃片上，170℃快速加熱50min，而后冷卻至室溫，得到導(dǎo)電薄膜①至⑦。圖2-2熱處理設(shè)備2.2.3表征手段電阻率測試方塊電阻是導(dǎo)電薄膜的核心參數(shù)，即一個正方形導(dǎo)電材料的電阻。它的計算公式為：Rs=ρ/t，這里參數(shù)ρ是導(dǎo)電材料的電阻率，參數(shù)t是指導(dǎo)電薄膜厚度。由此可知，方塊電阻的數(shù)值與我們選取的正方形載玻片的邊長無關(guān)，只與導(dǎo)電薄膜的電阻率和厚度有關(guān)系。本文中所選用的四探針測試儀為RTS-8型，他的最小分辨率是1μm膜厚。所以對于1μm以下膜厚的導(dǎo)電薄膜，我們可以先測量出導(dǎo)電薄膜的Rs方塊電阻，然后根據(jù)公式ρ=Rs×t得到導(dǎo)電薄膜的電阻率，當(dāng)然這一過程中的方塊電阻值是經(jīng)過多次測量后得到的平均值，這樣做是為了減小誤差。傅立葉變換紅外光譜分析(FTIR)本章采用傅立葉變換紅外光譜對導(dǎo)電墨水中四水甲酸銅與有機胺絡(luò)合劑的絡(luò)合反應(yīng)機理進行探究和分析。熱重分析(TG)本實驗中通過熱重分析對甲酸銅和導(dǎo)電墨水的熱分解行為進行了研究。將樣品置于鉑金坩堝內(nèi)，在60ml/min的氮氣氣氛下，以5攝氏度的升溫速率從室溫升至300℃，采集測試樣品的TG信息。X射線衍射分析(XRD)

第2章甲酸銅基無顆粒型導(dǎo)電墨水絡(luò)合劑的選擇13X射線衍射分析是一種利用X射線在晶體物質(zhì)中的衍射效應(yīng)進行物質(zhì)結(jié)構(gòu)分析的技術(shù)。本實驗中，通過XRD確認(rèn)熱處理得到的導(dǎo)電薄膜由銅顆粒組成，掃描條件如下：采用CuKα射線（λ=0.154056nm），管壓和管流分別為30KV和30mA，步寬角度0.05度，采樣時間0.2s，掃描范圍20度到80度。掃描電子顯微鏡（SEM）掃描電子顯微鏡是利用高能電子束對測試樣品進行掃描，激發(fā)出各種物理信息，通過對這些信息的接收、放大和顯示成像，來觀察測試樣品微觀形貌的技術(shù)。在本實驗中，SEM用來觀察導(dǎo)電薄膜的表面和截面形貌。此外，通過SEM上配有的ElementMapping附件，對導(dǎo)電薄膜一定區(qū)域的元素分布進行測試。2.3結(jié)果與分析2.3.1銅胺絡(luò)合機理的探究與分析圖2-3紅外吸收光譜曲線（a為導(dǎo)電墨水A、b為1,2-丙二胺）通過課題組前期傅立葉紅外光譜測試，我們能夠從化學(xué)鍵，吸收峰等微觀因素確認(rèn)并分析銅胺絡(luò)合反應(yīng)的絡(luò)合機理。圖2-3中a曲線是1,2-丙二胺與四水甲酸銅絡(luò)合后的傅立葉紅外光譜圖。其中在3355cm-1，3275cm-1處存在兩個強度中等的吸收峰，這兩個吸收峰是伯胺的對稱與不對稱的伸縮振動吸收峰；在曲線a中，2958cm-1處存在甲基和亞甲基的對稱與不對稱伸縮振動峰；而在1597cm-1處的中等強度吸收峰可以歸納為（NH2-）氨基的面內(nèi)彎曲振動吸收峰（伯胺的δN-H

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
[1]納米Cu@Ag的制備及其水性導(dǎo)電墨水的性能研究[D]. 譚勝友.廣東工業(yè)大學(xué) 2016
[2]無顆粒型銅導(dǎo)電墨水的制備及成膜研究[D]. 單靜.天津大學(xué) 2013



本文編號：2926743