近年來,金屬氧化物薄膜晶體管（Thin Film Transistor,TFT）作為TFT-LCD和AMOLED的半導體開關(guān),以其較高的遷移率,大面積均勻性,可見光范圍內(nèi)透光率高得到了越來越多的關(guān)注。研究者們對InZnO（IZO）基TFT進行了廣泛的研究,其中IZO:N TFT和IZO:Li TFT的遷移率可分別高達39.3 cm2V-1S-1和80.4 cm2V-1s·-1,但它們的退火溫度都高達950°C。過高的退火溫度使得制備成本太高不利于工業(yè)生產(chǎn)。為了降低制備IZO基TFT的退火溫度,我們嘗試制備IZO基雙有源層TFT。與探尋新有源層材料相比,改變TFT的有源層結(jié)構(gòu)是一種具有戰(zhàn)略意義和實用價值的方法。主要研究工作如下:1、在氧氣氣氛中退火溫度為120℃的條件下,用磁控濺射的方法制備了雙有源層IZO:Li/InZnSnO（IZTO）TFT,分別研究了雙有源層結(jié)構(gòu)中靠近柵絕緣層的下層IZO:Li薄膜厚度和靠近源漏鋁電極的上層IZTO薄膜厚度對IZO:Li/IZTO TFT電學性能的影響。2、用磁控濺射的方法制備了 IZO:N/IZTO TFT。首先,在退火氣氛為氧氣的條件下,研究了... 

【文章來源】：北京交通大學北京市 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：53 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－２?ＴＦＴ－ＬＣＤ亞像素等效電路原理圖??Ｆｉｇｕｒｅ?１－２?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｓｕｂｐｉｘｅｌ?ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ?ｃｉｒｃｕｉｔ?ｏｆ?ＴＦＴ－ＬＣＤ??

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【參考文獻】：
期刊論文
[1]金屬氧化物薄膜晶體管最新研究進展[J]. 王春蘭,李玉慶,韓莎,姚奇,高博.  紡織高�；A(chǔ)科學學報. 2018(04)

博士論文
[1]新型金屬氧化物薄膜晶體管的性能研究及工藝開發(fā)[D]. 羅東向.華南理工大學 2014

碩士論文
[1]IGZO薄膜性能的研究及改善[D]. 湯猛.江南大學 2017
[2]金屬氧化物薄膜和晶體管的制備與性能研究[D]. 譚惠月.青島大學 2015



本文編號：2905219