采用脈沖電壓對(duì)硼硅玻璃與硅進(jìn)行了陽(yáng)極鍵合試驗(yàn),結(jié)果表明采用脈沖電壓能有效縮短硅/玻璃陽(yáng)極鍵合時(shí)間并能適當(dāng)降低鍵合溫度。通過(guò)拉伸試驗(yàn)表明鍵合強(qiáng)度能達(dá)到預(yù)定強(qiáng)度要求,通過(guò)掃描電鏡對(duì)鍵合界面的微觀界面進(jìn)行分析:表明玻璃/硅的鍵合界面有較明顯的中間過(guò)渡層生成;通過(guò)分析:認(rèn)為在玻璃/硅進(jìn)行陽(yáng)極鍵合過(guò)程中,脈沖電壓產(chǎn)生的脈沖電場(chǎng)力對(duì)玻璃Na⁺耗盡層中的O^2-向界面遷移擴(kuò)散起到了反復(fù)驅(qū)動(dòng)的作用,促進(jìn)了O^2-向陰極表面遷移,增加了界面鍵合效率,縮短了硅/玻璃陽(yáng)極鍵合時(shí)間,并降低了鍵合溫度,從而促進(jìn)了過(guò)渡層的形成。 

【文章來(lái)源】：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2017年07期 第749-752頁(yè) 北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【文章目錄】：
1 試驗(yàn)材料及試驗(yàn)方法
2 試驗(yàn)方案及分析
3 試驗(yàn)結(jié)果及分析
    3.1 接頭力學(xué)性能試驗(yàn)
    3.2 脈沖電壓在陽(yáng)極鍵合試驗(yàn)過(guò)程中的作用分析
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于正交試驗(yàn)分析的陽(yáng)極鍵合強(qiáng)度研究(英文)[J]. 陳明祥,易新建,甘志銀,劉勝.  功能材料與器件學(xué)報(bào). 2005(03)

碩士論文
[1]基于電流控制的陽(yáng)極鍵合工藝方法及實(shí)驗(yàn)研究[D]. 陸春意.蘇州大學(xué) 2015



本文編號(hào)：2901396