發(fā)布時(shí)間：2020-08-17 20:39

【摘要】：隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)與高新技術(shù)的飛速發(fā)展,人們對(duì)紅外偏振探測方面的需求與日俱增,紅外偏振探測技術(shù)已經(jīng)深入到國民生活中的方方面面,表現(xiàn)出重要的應(yīng)用價(jià)值。在紅外偏振探測系統(tǒng)各組成元器件中,偏振器是感知被測物體所攜帶偏振信息的關(guān)鍵部件,在系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。而隨著紅外技術(shù)的不斷更新,偏振探測系統(tǒng)得到進(jìn)一步發(fā)展,系統(tǒng)小型化,微型化甚至是集成化已成為當(dāng)前時(shí)代的發(fā)展趨勢。面對(duì)偏振探測系統(tǒng)以及對(duì)應(yīng)光電探測器光敏元面積的不斷減小,與之配套使用的傳統(tǒng)紅外偏振片已逐漸無法適應(yīng)當(dāng)前的使用需求。而納米金屬光柵具有體積小、適應(yīng)性好等特點(diǎn),同時(shí)又具有優(yōu)異的偏振性能,因此成為替代傳統(tǒng)紅外偏振片的一種可行器件�；谏鲜�,本文致力于采用微納加工工藝制備出滿足偏振探測系統(tǒng)性能需求的紅外納米金屬光柵。首先,本文基于時(shí)域有限差分理論研究了單層紅外納米金屬光柵各參數(shù),如金屬材料,周期、占空比、金屬層厚度以及光柵截面形貌結(jié)構(gòu)對(duì)其偏振特性的影響關(guān)系,并通過等效介質(zhì)理論對(duì)所得結(jié)果進(jìn)行了物理意義上的定性解釋。其次研究了基底材料清洗及表面改性工藝,熱納米壓印工藝、紫外-熱納米壓印工藝以及金屬薄膜沉積工藝-真空熱蒸鍍工藝中各工藝參數(shù)對(duì)光柵結(jié)構(gòu)制備的影響,并對(duì)部分工藝參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。結(jié)合上述工藝,制備了多方向陣列式紅外納米金屬光柵。光柵TM透射率在2.5-5μm紅外波段大于70%,消光比在2.7-5μm波段超過30dB,在部分波段如2.72-3.93μm波段超過35dB。同時(shí)針對(duì)現(xiàn)有紅外納米金屬光柵支撐材料主要為硬性材料,與非平面設(shè)備集成兼容性差等缺點(diǎn),利用IPS材料具有可變形且在中紅外波段具有較好透射率這些性質(zhì),制備出柔性紅外納米金屬光柵,進(jìn)一步拓寬了其適用場合和范圍。最后為提升光柵偏振性能,研究了增透膜原理并給出了透射率計(jì)算方法,通過編制MATLAB程序,對(duì)比仿真分析了單側(cè)增透膜設(shè)計(jì)和雙側(cè)增透膜設(shè)計(jì)后的透射率,確立了雙側(cè)增透膜的設(shè)計(jì)方案�；谏鲜龇抡娼Y(jié)果,調(diào)整并改進(jìn)制作工藝,重新制作了帶有雙側(cè)增透膜的紅外納米金屬光柵。光柵TM偏振透射率在4.48-4.65μm波段超過80%,光柵性能較之前有了較大的提升。
【學(xué)位授予單位】：大連理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2019
【分類號(hào)】：TN219;TH74

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 胡月;王銳;呂邵娃;李永吉;;納米金屬有機(jī)框架載藥系統(tǒng)的應(yīng)用與展望[J];西北藥學(xué)雜志;2015年02期

2 譚曉琴;曾明穎;崔偉;吳晨旭;;扭曲型向列相液晶中納米金屬絲的動(dòng)態(tài)行為[J];廈門大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2012年01期

3 唐紅;李雄耀;王世杰;李陽;;月壤中納米金屬鐵的太空風(fēng)化成因及模擬方法分析[J];地球科學(xué)進(jìn)展;2011年05期

4 彭亞晶;尹雪飛;董海寬;;納米金屬粒子光吸收理論研究進(jìn)展[J];光散射學(xué)報(bào);2010年02期

5 杜淼;任海萍;;納米金屬鐵處理難降解有機(jī)物的研究進(jìn)展[J];山東教育學(xué)院學(xué)報(bào);2008年01期

6 ;我國首次發(fā)現(xiàn)納米金屬“奇異”性能[J];半導(dǎo)體技術(shù);2000年05期

7 ;我國在世界上首次直接發(fā)現(xiàn)納米金屬“奇異”性能[J];汽車工藝與材料;2000年12期

8 ;國內(nèi)首條納米金屬生產(chǎn)線落戶昆山[J];中國粉體工業(yè);2008年02期

9 楊胡坤;王建萍;董康興;;旋轉(zhuǎn)電場驅(qū)動(dòng)納米金屬線運(yùn)動(dòng)研究[J];微納電子技術(shù);2018年11期

10 樊東黎;;車用超強(qiáng)納米結(jié)構(gòu)金屬[J];金屬熱處理;2012年12期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 張金鈺;劉剛;孫軍;;納米金屬多層膜微柱體變形損傷行為的尺寸與界面調(diào)控[A];中國力學(xué)大會(huì)-2015論文摘要集[C];2015年

2 徐繪;鈄忠尚;黃倩;饒興堂;崔元靖;錢國棟;;一種探測苯酚的發(fā)光納米金屬有機(jī)框架材料[A];第七屆全國稀土發(fā)光材料學(xué)術(shù)研討會(huì)會(huì)議論文摘要集[C];2011年

3 張子棟;史志成;范潤華;王軍虎;;塊體納米金屬陶瓷的穆斯堡爾譜研究[A];第十一屆全國穆斯堡爾譜學(xué)會(huì)議論文集[C];2011年

4 瓦列里;楊曉英;郭小平;郝建堂;;納米金屬微粉的制備及應(yīng)用[A];納米材料和技術(shù)應(yīng)用進(jìn)展——全國第二屆納米材料和技術(shù)應(yīng)用會(huì)議論文集（下卷）[C];2001年

5 吳玉程;王文芳;鄭玉春;鄢波;楊曄;李廣海;張立德;;二氧化硅介孔內(nèi)組裝納米金屬復(fù)合體系的結(jié)構(gòu)變化研究[A];第四屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2001年

6 高隴橋;張巨先;;陶瓷納米金屬化技術(shù)[A];陶瓷—金屬封接技術(shù)進(jìn)步和應(yīng)用研討會(huì)論文集[C];2004年

7 吳焱學(xué);李雄耀;王世杰;李世杰;唐紅;;俄歇電子能譜在月壤納米金屬鐵原位分析中的應(yīng)用前景[A];中國礦物巖石地球化學(xué)學(xué)會(huì)第14屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要專輯[C];2013年

8 趙鵬;姚燕燕;田曉珍;許啟明;A.Gedanken;;微波加熱制備尺寸各向異性納米金屬釕顆粒[A];第五屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集Ⅱ[C];2004年

9 羅江山;;納米金屬功能材料研究進(jìn)展[A];中國工程物理研究院科技年報(bào)(2009年版)[C];2010年

10 徐安武;;納米金屬表面等離子體光子學(xué)及應(yīng)用[A];中國顆粒學(xué)會(huì)超微顆粒專委會(huì)2013年年會(huì)暨第八屆海峽兩岸超微顆粒學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2013年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前10條

1 文德;大變形納米金屬顯微組織的長期穩(wěn)定性[N];世界金屬導(dǎo)報(bào);2018年

2 迪文;韓國研制出2納米金屬線[N];中國計(jì)算機(jī)報(bào);2005年

3 ;日本納米金屬研究開發(fā)正式啟動(dòng)[N];中國冶金報(bào);2002年

4 記者 高博;我實(shí)現(xiàn)納米金屬新工藝突破[N];科技日?qǐng)?bào);2013年

5 華聲;中國首次發(fā)現(xiàn)納米金屬延展性[N];中國礦業(yè)報(bào);2000年

6 記者 張春甫;納米金屬將成我國主要研發(fā)材料[N];中國有色金屬報(bào);2001年

7 李斌 沈路濤;我國科研人員發(fā)現(xiàn)納米金屬能“瘋長”[N];中國機(jī)電日?qǐng)?bào);2000年

8 記者 周洋;大慶首個(gè)納米金屬項(xiàng)目主體封頂[N];大慶日?qǐng)?bào);2012年

9 張亮;納米金屬讓炸彈更小更強(qiáng)[N];科技日?qǐng)?bào);2005年

10 常麗君;納米金屬膜小孔具有“封孔透光效應(yīng)”[N];科技日?qǐng)?bào);2011年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

1 馬玉潔;納米金屬多層膜的熱穩(wěn)定性研究[D];南京大學(xué);2019年

2 許婷;RGD肽修飾的納米金屬有機(jī)框架IRMOF-3的靶向性研究[D];黑龍江中醫(yī)藥大學(xué);2015年

3 陸曉元;周期納米金屬陣列結(jié)構(gòu)的等離激元特性研究[D];中國科學(xué)院大學(xué)(中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所);2016年

4 周曉玲;納米金屬的塑性形變與彈性性質(zhì)研究[D];中國工程物理研究院;2017年

5 陳飛達(dá);新型鉻/鎢納米金屬多層膜復(fù)合材料的輻照損傷研究[D];南京航空航天大學(xué);2016年

6 蔣渝;納米金屬粉體材料的氫等離子體制備機(jī)理及其潤滑減摩特性研究[D];四川大學(xué);2004年

7 劉磊力;納米金屬和復(fù)合金屬粉的制備及其催化性能的研究[D];南京理工大學(xué);2004年

8 黃丹;納米金屬單晶力學(xué)行為和力學(xué)性能及其尺度效應(yīng)的分子動(dòng)力學(xué)研究[D];浙江大學(xué);2005年

9 趙軍;碳包裹納米金屬及其合金粒子的制備和性能研究[D];南京理工大學(xué);2007年

10 楚廣;ICF用納米金屬銅、銀和鋁材料的制備、微結(jié)構(gòu)表征和性能研究[D];中南大學(xué);2007年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 康維東;紅外納米金屬光柵偏振特性及制備工藝研究[D];大連理工大學(xué);2019年

2 常石巖;第一性原理設(shè)計(jì)制備納米金屬修飾Ag_3PO_4材料[D];華北理工大學(xué);2019年

3 陳建軍;柔性PEN基底表面納米金屬薄膜制備及其性能研究[D];蘭州理工大學(xué);2019年

4 劉小凱;低維鎳基磁性納米金屬的微結(jié)構(gòu)及磁性研究[D];蘭州大學(xué);2019年

5 張艷惠;RGD修飾的納米金屬有機(jī)框架IRMOF-3的制備及靶向性初步研究[D];黑龍江中醫(yī)藥大學(xué);2015年

6 劉靜;納米金屬硫（氧）化物的可控合成及其細(xì)胞生物學(xué)效應(yīng)[D];河南師范大學(xué);2018年

7 丁建姿;秸稈基水凝膠—納米金屬復(fù)合物的制備及其應(yīng)用研究[D];山東大學(xué);2018年

8 管玉瑤;納米金屬有機(jī)框架顆粒（TCPC-UiO）用于肝癌CT造影劑的研究[D];吉林大學(xué);2018年

9 王忠旭;面向微光環(huán)境導(dǎo)航應(yīng)用的等離子體透鏡設(shè)計(jì)[D];大連理工大學(xué);2018年

10 朱盼盼;大腸桿菌熒光光譜特性及納米顆粒的消殺效應(yīng)研究[D];江蘇師范大學(xué);2018年

本文編號(hào)：2795806