IGBT短路機(jī)理與特性的研究
【學(xué)位授予單位】:西安理工大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2019
【分類號】:TN322.8
【圖文】:
高 IGBT 產(chǎn)品的使用壽命,并且芯片表面采用銅金屬化技術(shù),使得工作結(jié)溫可以達(dá)75℃。日立公司采用 HiGT+LiPT 技術(shù)[14],如圖 1-1(b),HiGT 是具有載流子存儲層的 IGBT,可以實(shí)現(xiàn)低的飽和電壓,LiPT 是指集電極側(cè)低注入的穿通結(jié)構(gòu),與 LPT PT 結(jié)構(gòu)類似,溝槽結(jié)構(gòu)更利于存儲載流子,但成本更高。在 6500V 和 4500V 等級的中,采用了優(yōu)化的平面柵結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)低飽和電壓和軟開關(guān)特性,3300V 和 1700V 等級 Advanced Trench 結(jié)構(gòu)[15],在最新文獻(xiàn)中為了減小溝槽柵的米勒電容,將溝槽多晶硅側(cè)面減薄,提出了 side gate HiGT 和 Dual Side-Gate HiGT 兩種結(jié)構(gòu)[16][17],與傳統(tǒng)溝相比,可以進(jìn)一步降低關(guān)斷和導(dǎo)通期間的損耗。三菱公司在高壓模塊中采用優(yōu)化的平 Fine Planar+LPT 技術(shù)[18]和 CSTBT+LPT 技術(shù)[19],如圖 1-1(c),3300V、4500V 和 650壓 IGBT 都采用的是 Fine Planar+LPT 技術(shù),而 1700V 等級中采用 CSTBT+LPT 技術(shù)STBT 結(jié)構(gòu)導(dǎo)通時(shí)在發(fā)射極一側(cè)形成空穴積累層,從而增加載流子濃度以降低導(dǎo)通壓降BB 公司采用 Fine planar+SPT+技術(shù)[10],SPT 結(jié)構(gòu)結(jié)合了 NPT 和 PT 結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn),使得區(qū)厚度較薄,所以通態(tài)壓降較小,同時(shí)具有正溫度系數(shù),通態(tài)時(shí)載流子濃度減小,所斷損耗較低。SPT+結(jié)構(gòu)是在 SPT 結(jié)構(gòu)上增加了載流子存儲層,進(jìn)一步減小通態(tài)壓降PT++結(jié)構(gòu)進(jìn)一步減薄芯片厚度,以達(dá)到提高工作結(jié)溫的目的[20]。
1 緒論發(fā)展趨勢,各個(gè)廠商通過減薄芯片厚度,改變緩沖層化通態(tài)壓降和關(guān)斷損耗的矛盾關(guān)系,但是通態(tài)壓降和,以提高器件的可靠性以及整個(gè)系統(tǒng)的安全性。的研究現(xiàn)狀,IGBT 需要有一定的短路能力,即防止負(fù)載短路故障會有常見的四種短路失效模式[21],失效模式 A 是在或大電流導(dǎo)致的閂鎖效應(yīng);失效模式 B 是指在短路界值時(shí)發(fā)生的熱故障;失效模式 C 是指短路關(guān)斷過態(tài)閂鎖或者 VCE過電壓擊穿;模式 D 是指短路關(guān)斷
IFEF結(jié)構(gòu)
【相似文獻(xiàn)】
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本文編號:2781439
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