【摘要】：藍(lán)寶石襯底片的表面清潔度是影響發(fā)光二極管(LED)產(chǎn)品性能的重要因素之一。現(xiàn)有藍(lán)寶石襯底片的清洗技術(shù)采用清洗劑多道次清洗,過(guò)程繁瑣且化學(xué)清洗劑將引發(fā)環(huán)境污染等諸多問題。本文探索了采用干冰微粒噴射清洗技術(shù)對(duì)藍(lán)寶石襯底片進(jìn)行清洗。采用三維視頻顯微鏡和內(nèi)置能譜儀臺(tái)式掃描電鏡,對(duì)藍(lán)寶石襯底片殘余物進(jìn)行檢測(cè),結(jié)果表明殘余物主要為拋光基液和金剛石磨料。通過(guò)計(jì)算拋光基液與藍(lán)寶石襯底片之間的吸附力和粘附在藍(lán)寶石襯底片的金剛石磨料所受的作用力,分析了干冰微粒噴射清洗技術(shù)對(duì)于不同類型的污染物進(jìn)行清洗的可行性,并設(shè)計(jì)制作了干冰微粒噴射清洗的實(shí)驗(yàn)裝置。通過(guò)數(shù)值模擬,研究了干冰微粒噴射清洗實(shí)驗(yàn)裝置中直筒型、文丘里型噴嘴內(nèi)部氣體流場(chǎng)及其射流在空氣中的流場(chǎng)分布。經(jīng)過(guò)對(duì)比選擇了文丘里型噴嘴結(jié)構(gòu),并通過(guò)模擬進(jìn)一步研究了文丘里型噴嘴的幾何結(jié)構(gòu)對(duì)清洗效率的影響。利用高速攝像驗(yàn)證了模擬結(jié)果是可信的。采用正交實(shí)驗(yàn)方法制定了干冰微粒噴射清洗實(shí)驗(yàn)方案,研究了噴射距離、清洗時(shí)間和噴射角度等因素對(duì)清洗效果的影響,并確定了最佳的工藝參數(shù)是噴射距離為35mm,清洗時(shí)間為45s,噴射角度為450�。通过絾靴角诧喛和X射線光電子能譜分析(XPS)對(duì)比了藍(lán)寶石襯底片清洗前后的表面清潔度,驗(yàn)證干冰微粒噴射清洗的清洗效果;通過(guò)檢測(cè)清洗前后藍(lán)寶石襯底片的表面損傷情況,分析了干冰微粒噴射清洗對(duì)藍(lán)寶石襯底片表面質(zhì)量的影響;并研究了干冰微粒噴射清洗技術(shù)的適用范圍。研究結(jié)果表明,干冰微粒噴射清洗能有效去除藍(lán)寶石襯底片的有機(jī)殘余物,對(duì)其表面無(wú)損傷,且具有廣泛的適用性。
【學(xué)位授予單位】：華僑大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2019
【分類號(hào)】：TN312.8;TB490;O786
【圖文】：

4英寸藍(lán)寶石襯底片

LED的結(jié)構(gòu)示意圖

藍(lán)寶石襯底片的加工流程

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前8條

1 卓志國(guó);周海;施建國(guó);馮歡;;LED用藍(lán)寶石襯底拋光后濕法清洗研究[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與制造;2014年01期

2 鄭佳晶;孫敏;張金鳳;;LED用藍(lán)寶石晶片濕法腐蝕清洗技術(shù)的研究[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2013年09期

3 郭新賀;王磊;景玉鵬;;干冰微粒噴射清洗技術(shù)[J];微納電子技術(shù);2012年04期

4 崔小愛;吳云波;;LED藍(lán)寶石襯底項(xiàng)目的能源消耗分析研究[J];污染防治技術(shù);2011年06期

5 王磊;惠瑜;高超群;景玉鵬;;超臨界二氧化碳(SCCO_2)無(wú)損傷清洗[J];微納電子技術(shù);2010年02期

6 魏恒;劉玉嶺;陳婷;孫業(yè)林;劉效巖;;藍(lán)寶石襯底表面粗糙度的研究[J];半導(dǎo)體技術(shù);2009年08期

7 周海;杭寅;姚紹峰;;藍(lán)寶石晶片表面凈化技術(shù)研究[J];電子機(jī)械工程;2005年06期

8 陳光文,徐冬梅,袁曉鵬,王海寧,趙魯生,王春育;紅外光學(xué)零件預(yù)處理工藝研究[J];紅外技術(shù);2003年04期

本文編號(hào)：2768792