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基于飛秒光頻梳的正弦相位調(diào)制干涉絕對(duì)距離測(cè)量方法研究

發(fā)布時(shí)間:2020-07-06 17:22
【摘要】:正精密測(cè)距技術(shù)是高端裝備制造和工業(yè)生產(chǎn)中大尺寸機(jī)械零部件的測(cè)量、檢測(cè)及裝配的關(guān)鍵技術(shù),如飛機(jī)機(jī)翼和船舶裝配中的定位檢測(cè)、大型精密機(jī)床的測(cè)量和裝配、大尺寸工件內(nèi)外徑測(cè)量等。在階梯式的結(jié)構(gòu)測(cè)量中或制造現(xiàn)場(chǎng)無(wú)法鋪設(shè)平直導(dǎo)軌的場(chǎng)合,常用的增量式干涉測(cè)量方法難以應(yīng)用,急需大范圍、高精度的絕對(duì)距離測(cè)量?jī)x器。針對(duì)這一需求,論文提出了基于飛秒光頻梳的正弦相位調(diào)制干涉絕對(duì)距離測(cè)量方法,將頻率掃描干涉法和多波長(zhǎng)干涉法相結(jié)合進(jìn)行大范圍、高精度的絕對(duì)

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本文編號(hào):2743911

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