二維GeTe納米片的物理氣相合成及相變研究
【學位授予單位】:華中科技大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2019
【分類號】:TN304
【圖文】:
圖 1-2 硫?qū)傧嘧儾牧象w系三元相圖及發(fā)展應用歷程[2]了上述的幾個材料體系之外,為了進一步提升相變存儲器的操作速度、等性能指標,研究人員開展了越來越多的新型硫?qū)傧嘧儾牧系难邪l(fā)工作用新的元素種類與原有材料的元素組合,比如 GaSbTe[21]、GaSbSe[22]、另一方面,在原有材料體系基礎上摻雜入其他單質(zhì)或化合物進行改性也要的研究方向,其中得到廣泛研究的材料包括 WGeTe[24]等,它們在某些的表現(xiàn)具有一定的突破,有些具有較高的數(shù)據(jù)保持能力,有些具有較快有些大大降低了閾值電壓,甚至能夠超過 Ge-Sb-Te 材料體系。人們從不面表現(xiàn)的相變特性角度出發(fā),進而在有特殊應用要求的相應領域開發(fā)拓統(tǒng)相變存儲器一般都是基于硫?qū)傧嘧儾牧现懈唠娮杪实姆蔷嗪偷碗婇g的可逆相變。以當前具有最優(yōu)綜合性能的 Ge2Sb2Te5材料為例,將其非晶相轉(zhuǎn)變?yōu)楣舱矜I合的亞穩(wěn)態(tài)立方晶相,可將電阻率降低三個數(shù)量級
13圖 1-3 a, b) In2Se3用于 RESET (a) 和 SET (b) 程序的 ID-VPROG特性曲線;c) In2Se3的耐久性測試;d-f) In2Se3處于原始 (d)、SET (e) 和 RESET (f) 狀態(tài)的橫截面 HRTEM 圖像,插圖為放大的 HRTEM 圖像[28]經(jīng)過這些年對硫?qū)傧嘧儾牧系膹V泛而深入的研究,科研人員們在選擇材料組分、優(yōu)化相變存儲器各項性能指標等多個方面的探索已經(jīng)取得了重大的進展與突破,但要解決相變材料結晶速度和數(shù)據(jù)保持能力的固有矛盾,開發(fā)更全面高性能的相變存儲器還有很長的一段路要走。因此,為了突破目前硫?qū)傧嘧儾牧系膽闷款i,進一步提升相變存儲器的綜合性能,推動 PCRAM 產(chǎn)業(yè)化進程的不斷加速,還需要研究人員們的不斷嘗試與探索。
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