發(fā)布時間：2020-06-01 08:26

【摘要】：光刻機是集成電路制造業(yè)中的關(guān)鍵設(shè)備,精密氣浮工作臺作為光刻機的關(guān)鍵子部件,其工作性能直接決定了光刻機的工作性能,因此對工作臺進行研究具有重要意義。本文重點研究了光刻機精密氣浮工作臺的氣浮軸承特性、工作臺的多體動力學建模與仿真,并基于此對工作臺的動態(tài)特性進行了優(yōu)化。本文首先基于可壓縮潤滑理論,確定了氣浮軸承氣膜模型的參數(shù)與三維模型;使用前處理軟件ANSYS ICEM CFD及流體仿真軟件FLUENT,在不同參數(shù)條件下對模型進行了結(jié)構(gòu)性網(wǎng)格劃分及仿真,計算模型的壓力分布,得到氣浮軸承的承載力;重復上述過程,建立氣浮軸承在不同工況下的承載特性數(shù)據(jù)庫。介紹了精密氣浮工作臺的體系結(jié)構(gòu),基于氣浮軸承的承載特性數(shù)據(jù)及其它相關(guān)數(shù)據(jù)成功建立了工作臺的多體動力學模型,計算分析了工作臺的固有頻率與振型,仿真得到工作臺在步進掃描過程中的動態(tài)特性。參數(shù)化多體動力學模型,創(chuàng)建模型的設(shè)計變量與目標變量,編寫目標變量評價程序。組建優(yōu)化仿真模塊,使用計算機輔助優(yōu)化設(shè)計軟件Isight集成了優(yōu)化仿真模型,優(yōu)化了設(shè)計變量,提高了工作臺的穩(wěn)定性,縮短了工作臺收斂時間。
【學位授予單位】：華中科技大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2015
【分類號】：TN305.7

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