【摘要】：光刻機(jī)是集成電路制造業(yè)中的關(guān)鍵設(shè)備,精密氣浮工作臺(tái)作為光刻機(jī)的關(guān)鍵子部件,其工作性能直接決定了光刻機(jī)的工作性能,因此對(duì)工作臺(tái)進(jìn)行研究具有重要意義。本文重點(diǎn)研究了光刻機(jī)精密氣浮工作臺(tái)的氣浮軸承特性、工作臺(tái)的多體動(dòng)力學(xué)建模與仿真,并基于此對(duì)工作臺(tái)的動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行了優(yōu)化。本文首先基于可壓縮潤(rùn)滑理論,確定了氣浮軸承氣膜模型的參數(shù)與三維模型;使用前處理軟件ANSYS ICEM CFD及流體仿真軟件FLUENT,在不同參數(shù)條件下對(duì)模型進(jìn)行了結(jié)構(gòu)性網(wǎng)格劃分及仿真,計(jì)算模型的壓力分布,得到氣浮軸承的承載力;重復(fù)上述過(guò)程,建立氣浮軸承在不同工況下的承載特性數(shù)據(jù)庫(kù)。介紹了精密氣浮工作臺(tái)的體系結(jié)構(gòu),基于氣浮軸承的承載特性數(shù)據(jù)及其它相關(guān)數(shù)據(jù)成功建立了工作臺(tái)的多體動(dòng)力學(xué)模型,計(jì)算分析了工作臺(tái)的固有頻率與振型,仿真得到工作臺(tái)在步進(jìn)掃描過(guò)程中的動(dòng)態(tài)特性。參數(shù)化多體動(dòng)力學(xué)模型,創(chuàng)建模型的設(shè)計(jì)變量與目標(biāo)變量,編寫(xiě)目標(biāo)變量評(píng)價(jià)程序。組建優(yōu)化仿真模塊,使用計(jì)算機(jī)輔助優(yōu)化設(shè)計(jì)軟件Isight集成了優(yōu)化仿真模型,優(yōu)化了設(shè)計(jì)變量,提高了工作臺(tái)的穩(wěn)定性,縮短了工作臺(tái)收斂時(shí)間。
【學(xué)位授予單位】：華中科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類(lèi)號(hào)】：TN305.7

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本文編號(hào)：2691216