【摘要】：針對聲表面波器件測量中網(wǎng)絡(luò)分析儀的負載阻抗與射頻傳輸線特性阻抗不匹配,導(dǎo)致傳輸線上反射波幅值較大的問題,提出一種減少傳輸線上反射波的負載阻抗匹配系統(tǒng)與方案。負載阻抗匹配方案針對聲表面波器件測量中輸入與輸出端分別設(shè)計不同的無源負載阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),使輸入輸出端都處于匹配狀態(tài)。負載阻抗匹配系統(tǒng)集成了未匹配通道與匹配通道,根據(jù)負載阻抗不同調(diào)整匹配參數(shù)。對一個中心頻率為101.764 MHz,帶寬為30 MHz的聲表面波器件使用該匹配方案前后中心頻率處的衰減進行測量對比,實驗結(jié)果表明采用該匹配方案后在中心頻率點處輸入及輸出反射損耗分別為-49.36 dB和-38.13 dB,比未采用匹配方案時分別減少了44.99 dB和29.44 dB。
【圖文】：

渫ǖ朗?聲表面波器件S11及S22阻抗，分別為S11=(11．41－j10．91)Ω，S22=(54．68+j38．40)Ω。接著，依據(jù)匹配網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)圖，此時端口一匹配電路單元采用位置C的π型電路，端口二匹配電路單元采用T型電路，經(jīng)過調(diào)整后采用位置E的T型電路。進一步，由史密斯匹配軌跡圖結(jié)合計算公式確定無源負載阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)值，計算得電感L11=270μH，電感L12=50mH，電感L21=40nH，電感L22=270μH，電容C11=22pF，電容C21=47pF，由此搭建端口一及端口二阻抗匹配電路，完成負載阻抗匹配系統(tǒng)設(shè)計。圖6為根據(jù)所提出的負載阻抗匹配方案所設(shè)計的匹配系統(tǒng)。圖6負載阻抗匹配系統(tǒng)圖使用AgilentE5062A網(wǎng)絡(luò)分析儀測量匹配后聲表面波器件的反射損耗S11及S22的史密斯阻抗圓圖，結(jié)果如圖7所示。圖7負載阻抗匹配結(jié)果圖圖7(a)中標記1位置為待測聲表面波器件的中心頻率點處，標記1點處頻率為101．764MHz，阻抗實部為50．763Ω，虛部為－3．4120Ω，即匹配后中心頻率點處S11阻抗為:S11=(50．763－j3．4120)Ω，經(jīng)過端口一匹配電路單元后S11阻抗顯部分容性，大小為458．36pF，圖7(b)中標記1點處頻率為101．764MHz，阻抗實部為49．937Ω，虛部為－2．9931Ω，即匹配后中心頻率點處S22阻抗為:S22=(49．9370－j2．9931)Ω，經(jīng)過端口二匹配電路單元后S22阻抗顯403

端口二匹配電路單元采用T型電路，，經(jīng)過調(diào)整后采用位置E的T型電路。進一步，由史密斯匹配軌跡圖結(jié)合計算公式確定無源負載阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)值，計算得電感L11=270μH，電感L12=50mH，電感L21=40nH，電感L22=270μH，電容C11=22pF，電容C21=47pF，由此搭建端口一及端口二阻抗匹配電路，完成負載阻抗匹配系統(tǒng)設(shè)計。圖6為根據(jù)所提出的負載阻抗匹配方案所設(shè)計的匹配系統(tǒng)。圖6負載阻抗匹配系統(tǒng)圖使用AgilentE5062A網(wǎng)絡(luò)分析儀測量匹配后聲表面波器件的反射損耗S11及S22的史密斯阻抗圓圖，結(jié)果如圖7所示。圖7負載阻抗匹配結(jié)果圖圖7(a)中標記1位置為待測聲表面波器件的中心頻率點處，標記1點處頻率為101．764MHz，阻抗實部為50．763Ω，虛部為－3．4120Ω，即匹配后中心頻率點處S11阻抗為:S11=(50．763－j3．4120)Ω，經(jīng)過端口一匹配電路單元后S11阻抗顯部分容性，大小為458．36pF，圖7(b)中標記1點處頻率為101．764MHz，阻抗實部為49．937Ω，虛部為－2．9931Ω，即匹配后中心頻率點處S22阻抗為:S22=(49．9370－j2．9931)Ω，經(jīng)過端口二匹配電路單元后S22阻抗顯403

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