【摘要】：介紹設(shè)計了一種供多路超導(dǎo)濾波器正常工作的矩形靜態(tài)真空室。通過對真空室材料選擇、壁厚計算,設(shè)計完成矩形真空室焊接、密封結(jié)構(gòu);設(shè)計制定了合理的真空室加工、材料烘烤除氣、防輻射熱工藝;通過試驗固化了饋線接頭激光密封焊接參數(shù)。將制造完成的矩形靜態(tài)真空室進(jìn)行漏率檢測及實際應(yīng)用,該矩形靜態(tài)真空室完全滿足多路超導(dǎo)接收系統(tǒng)全扇區(qū)濾波的應(yīng)用要求。
【圖文】：

的密封方式進(jìn)行密封。真空室法蘭蓋與真空室上法蘭座設(shè)計為“凹凸”結(jié)構(gòu)形式，也采用金屬銦絲密封。矩形真空室射頻饋線接口數(shù)量較多，為此經(jīng)過反復(fù)論證設(shè)計與試驗，設(shè)計了可獨立更換的饋線穿墻接頭CF法蘭，通過銅墊與焊接在真空室筒身的金屬CF法蘭進(jìn)行螺紋連接，實現(xiàn)饋線穿墻的高真空金屬密封。該結(jié)構(gòu)不但實現(xiàn)了饋線接頭與真空室壁面的穿墻密封，而且焊接好的饋線接頭法蘭成為了一個單獨可更換的零部件，，在饋線接頭與金屬CF法蘭激光焊接密封指標(biāo)不合格時或損壞時，實現(xiàn)饋線接頭法蘭的快速更換，提高效率節(jié)約成本。圖3為矩形真空室的密封結(jié)構(gòu)圖。為使矩形真空室實現(xiàn)靜態(tài)真空狀態(tài)工作，在真空室零部件經(jīng)過特定除氣等工藝處理后，設(shè)計了真空室預(yù)留抽氣口密封組件(如圖4所示)。該組件有金屬CF法蘭、銅管、KF法蘭組成，在實現(xiàn)抽氣口密封組件與真空室的銅墊密封后，還能實現(xiàn)真空室整體與外界的最終靜態(tài)密封，最終靜態(tài)密封采用銅管冷焊鉗夾封或安裝小體積高真空閥門進(jìn)行密封，該結(jié)構(gòu)可對真空室真空度失效后進(jìn)行多次拆卸補(bǔ)抽真空，而不破壞整個真空室結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)真空的可維護(hù)功能。1．真空室法蘭蓋與上法蘭座密封銦絲;2．密封銅墊;3．饋線接頭與金屬CF法蘭焊接處;4．饋線接頭;5．饋線接頭金屬CF法蘭;6．金屬CF法蘭與真空室筒身焊接處圖3矩形真空室密封結(jié)構(gòu)圖Fig．3Thesealstructureoftherectangularvacuumchamber圖4預(yù)留抽氣口密封組件Fig．4Thereservedairextractsopeningsealingcomponents5真空室制作工藝設(shè)計5．1加工、焊接要求(1)所有加工真空零部件的機(jī)械設(shè)備、工具必須具備必要的潔凈度，車間環(huán)境整潔，來滿足高真空的要求。(2)在金屬零件加工中采用的冷卻液中不能含有鹵素。(3)為保證金屬法蘭的重復(fù)性和互換性，其加

證設(shè)計與試驗，設(shè)計了可獨立更換的饋線穿墻接頭CF法蘭，通過銅墊與焊接在真空室筒身的金屬CF法蘭進(jìn)行螺紋連接，實現(xiàn)饋線穿墻的高真空金屬密封。該結(jié)構(gòu)不但實現(xiàn)了饋線接頭與真空室壁面的穿墻密封，而且焊接好的饋線接頭法蘭成為了一個單獨可更換的零部件，在饋線接頭與金屬CF法蘭激光焊接密封指標(biāo)不合格時或損壞時，實現(xiàn)饋線接頭法蘭的快速更換，提高效率節(jié)約成本。圖3為矩形真空室的密封結(jié)構(gòu)圖。為使矩形真空室實現(xiàn)靜態(tài)真空狀態(tài)工作，在真空室零部件經(jīng)過特定除氣等工藝處理后，設(shè)計了真空室預(yù)留抽氣口密封組件(如圖4所示)。該組件有金屬CF法蘭、銅管、KF法蘭組成，在實現(xiàn)抽氣口密封組件與真空室的銅墊密封后，還能實現(xiàn)真空室整體與外界的最終靜態(tài)密封，最終靜態(tài)密封采用銅管冷焊鉗夾封或安裝小體積高真空閥門進(jìn)行密封，該結(jié)構(gòu)可對真空室真空度失效后進(jìn)行多次拆卸補(bǔ)抽真空，而不破壞整個真空室結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)真空的可維護(hù)功能。1．真空室法蘭蓋與上法蘭座密封銦絲;2．密封銅墊;3．饋線接頭與金屬CF法蘭焊接處;4．饋線接頭;5．饋線接頭金屬CF法蘭;6．金屬CF法蘭與真空室筒身焊接處圖3矩形真空室密封結(jié)構(gòu)圖Fig．3Thesealstructureoftherectangularvacuumchamber圖4預(yù)留抽氣口密封組件Fig．4Thereservedairextractsopeningsealingcomponents5真空室制作工藝設(shè)計5．1加工、焊接要求(1)所有加工真空零部件的機(jī)械設(shè)備、工具必須具備必要的潔凈度，車間環(huán)境整潔，來滿足高真空的要求。(2)在金屬零件加工中采用的冷卻液中不能含有鹵素。(3)為保證金屬法蘭的重復(fù)性和互換性，其加工必須采用數(shù)控機(jī)床，在加工過程中，必須用專用蓋保護(hù)密封刀口及密封面不受損傷。(4)所有焊接件在焊接前必須進(jìn)行超聲波·52·超導(dǎo)技術(shù)Superconductivi

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1 Ｇ．Ｓ．馬林斯基;新型電子束物理氣相沉積設(shè)備[J];航空工藝技術(shù);1998年02期

2 ;[J];;年期

本文編號：2582057