【摘要】：集成電路技術(shù)是電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),集成電路制造設(shè)備的性能對于提高電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起著非常重要的推動作用。對于集成制造裝備而言,硅片傳輸機械手是集成制造裝備中的關(guān)鍵設(shè)備之一,機械手的性能將很直接的影響集成電路制造系統(tǒng)的生產(chǎn)效率與質(zhì)量。因此,展開對硅片傳輸機械手的研究具有重要的意義。針對硅片傳輸機械手運動的高速、平穩(wěn)性的特點,本文展開了對其控制策略的研究。本文主要針對R-θ型機械手進行了控制策略的設(shè)計,并且在理論的基礎(chǔ)上搭建了完成了整個控制算法的設(shè)計和整個控制系統(tǒng)的仿真驗證。最后搭建了硅片傳輸機械手試驗樣機,編寫控制程序?qū)C械手性能進行了驗證。首先選擇了R-θ構(gòu)型的機械手進行設(shè)計,并且對R-θ機械手串聯(lián)三桿的模型進行分析,建立了機械手運動學(xué)方程。建立機械手系統(tǒng)電機數(shù)學(xué)模型的,選用id=0的矢量控制策略。然后通過理論分析,選取了加速度為等腰梯形函數(shù)的軌跡規(guī)劃方法,設(shè)計了相應(yīng)的控制策略抑制機械手運動過程中可能存在的干擾,對整個控制策略加以設(shè)計。為了是建立的硅片傳輸機械手的仿真模型與實際的模型更加接近,進行了ADAMS實體模型與Matlab的聯(lián)合仿真,同時仿真結(jié)果驗證了本文提出的控制策略的合理性。最后進行了控制系統(tǒng)硬件平臺的搭建,建立了機械手控制軟件的架構(gòu),對控制軟件系統(tǒng)的采樣進行加以設(shè)計,對控制算法實現(xiàn)離散化、程序化。經(jīng)過測試得出,無論在高中低速,機械手運動過程、穩(wěn)態(tài)過程位置誤差都能夠滿足設(shè)計需求。對機械手進行整體重復(fù)性測試,通過測試結(jié)果可以看出,整體重復(fù)性達標(biāo)。
【學(xué)位授予單位】：貴州大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TN405;TP241

【參考文獻】

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1 王莉;彭小兵;嚴仰光;;基于TMS320F240的PMSM矢量控制系統(tǒng)實現(xiàn)[J];電氣自動化;2003年03期

2 王正;常浩;;永磁同步電機矢量控制系統(tǒng)研究[J];沈陽工業(yè)大學(xué)學(xué)報;2007年03期

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1 黃曉冬;基于FPGA的永磁電機控制系統(tǒng)的研究[D];浙江大學(xué);2010年

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本文編號：2576223