【摘要】：集成電路技術(shù)是電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),集成電路制造設(shè)備的性能對(duì)于提高電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起著非常重要的推動(dòng)作用。對(duì)于集成制造裝備而言,硅片傳輸機(jī)械手是集成制造裝備中的關(guān)鍵設(shè)備之一,機(jī)械手的性能將很直接的影響集成電路制造系統(tǒng)的生產(chǎn)效率與質(zhì)量。因此,展開(kāi)對(duì)硅片傳輸機(jī)械手的研究具有重要的意義。針對(duì)硅片傳輸機(jī)械手運(yùn)動(dòng)的高速、平穩(wěn)性的特點(diǎn),本文展開(kāi)了對(duì)其控制策略的研究。本文主要針對(duì)R-θ型機(jī)械手進(jìn)行了控制策略的設(shè)計(jì),并且在理論的基礎(chǔ)上搭建了完成了整個(gè)控制算法的設(shè)計(jì)和整個(gè)控制系統(tǒng)的仿真驗(yàn)證。最后搭建了硅片傳輸機(jī)械手試驗(yàn)樣機(jī),編寫(xiě)控制程序?qū)C(jī)械手性能進(jìn)行了驗(yàn)證。首先選擇了R-θ構(gòu)型的機(jī)械手進(jìn)行設(shè)計(jì),并且對(duì)R-θ機(jī)械手串聯(lián)三桿的模型進(jìn)行分析,建立了機(jī)械手運(yùn)動(dòng)學(xué)方程。建立機(jī)械手系統(tǒng)電機(jī)數(shù)學(xué)模型的,選用id=0的矢量控制策略。然后通過(guò)理論分析,選取了加速度為等腰梯形函數(shù)的軌跡規(guī)劃方法,設(shè)計(jì)了相應(yīng)的控制策略抑制機(jī)械手運(yùn)動(dòng)過(guò)程中可能存在的干擾,對(duì)整個(gè)控制策略加以設(shè)計(jì)。為了是建立的硅片傳輸機(jī)械手的仿真模型與實(shí)際的模型更加接近,進(jìn)行了ADAMS實(shí)體模型與Matlab的聯(lián)合仿真,同時(shí)仿真結(jié)果驗(yàn)證了本文提出的控制策略的合理性。最后進(jìn)行了控制系統(tǒng)硬件平臺(tái)的搭建,建立了機(jī)械手控制軟件的架構(gòu),對(duì)控制軟件系統(tǒng)的采樣進(jìn)行加以設(shè)計(jì),對(duì)控制算法實(shí)現(xiàn)離散化、程序化。經(jīng)過(guò)測(cè)試得出,無(wú)論在高中低速,機(jī)械手運(yùn)動(dòng)過(guò)程、穩(wěn)態(tài)過(guò)程位置誤差都能夠滿足設(shè)計(jì)需求。對(duì)機(jī)械手進(jìn)行整體重復(fù)性測(cè)試,通過(guò)測(cè)試結(jié)果可以看出,整體重復(fù)性達(dá)標(biāo)。
【學(xué)位授予單位】：貴州大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類(lèi)號(hào)】：TN405;TP241

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2576223