【摘要】：為實(shí)現(xiàn)微電子封裝領(lǐng)域各類(lèi)膠體的精確微量分配,設(shè)計(jì)了基于菱形放大機(jī)構(gòu)放大壓電致動(dòng)器位移的微噴系統(tǒng),利用集總參數(shù)法建立了該系統(tǒng)的等效電器模型,通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了模型和仿真結(jié)果的可靠性,分析了系統(tǒng)參數(shù)對(duì)膠滴體積和脫離效果的影響.實(shí)驗(yàn)和仿真表明:撞針位移在0.3~0.5mm時(shí)為有利于噴射膠滴的范圍內(nèi);針對(duì)3Pa·s黏度的膠體,當(dāng)驅(qū)動(dòng)氣壓在0.15~0.32MPa時(shí),噴射體積與驅(qū)動(dòng)氣壓成正相關(guān)趨勢(shì);隨著黏度的增大,相同條件下可獲取的膠滴體積不斷減小,需要的驅(qū)動(dòng)力不斷增大;對(duì)于特定黏度的膠體,在合適氣壓范圍內(nèi),調(diào)控分配頻率可實(shí)現(xiàn)對(duì)微噴體積的調(diào)節(jié).
[Abstract]:In order to realize the accurate micro distribution of all kinds of colloids in the field of microelectronic packaging, a micro spray system based on rhomboid amplification mechanism to amplify the displacement of piezoelectric actuator is designed, and the equivalent electrical model of the system is established by lumped parameter method. The reliability of the model and simulation results is verified by experiments, and the influence of system parameters on droplet volume and detachment effect is analyzed. The experimental and simulation results show that the displacement of the impingement needle is in the range of spray droplets at 0.3~0.5mm, and for the colloid with 3Pa 路s viscosity, when the driving pressure is 0.15~0.32MPa, the injection volume is positively correlated with the driving pressure. With the increase of viscosity, the volume of droplets available under the same conditions decreases and the driving force is increasing. For colloids with specific viscosity, the distribution frequency can be adjusted by adjusting the distribution frequency in the appropriate pressure range.
【作者單位】： 山東大學(xué)(威海)機(jī)電與信息工程學(xué)院;哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)器人技術(shù)與系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51605261) 博士后科學(xué)基金資助項(xiàng)目(2016M592179) 山東省科技發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目(2016GGX103004)
【分類(lèi)號(hào)】：TN405

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本文編號(hào)：2484866