【摘要】：介紹了大面陣偏振長波量子阱紅外焦平面探測器組件的研制進展。在640×512規(guī)模20μm中心距面陣上,偏振焦平面采用了2×2子單元設(shè)計,子單元中每個像元分別刻蝕0°、90°、45°以及135°方向的一維線性光柵,來獲得入射光不同偏振角度的信息。突破了長波量子阱材料外延和器件制備等關(guān)鍵技術(shù),制備出面陣探測器芯片,實現(xiàn)了偏振長波紅外探測的單片集成,配上杜瓦和制冷機,研制出噪聲等效溫差優(yōu)于30m K的長波偏振640×512量子阱探測器組件。
[Abstract]:The development of large-area array polarization long-wave quantum well infrared focal plane detector module is introduced in this paper. On the 640 脳 512 scale 20 渭 m center-distance array, the polarization focal plane is designed with 2 脳 2 subunits. Each pixel in the sub-unit is etched with one-dimensional linear gratings in the directions of 0 擄, 90 擄, 45 擄and 135 擄, respectively, to obtain the information of different polarization angles of the incident light. By breaking through the key technologies of long wave quantum well material epitaxy and device fabrication, the planar array detector chip has been fabricated, and the monolithic integration of polarization long wave infrared detection has been realized, equipped with Dewar and refrigerator. A long wave polarizing 640 脳 512 quantum well detector module with noise equivalent temperature difference better than 30m K is developed.
【作者單位】： 昆明物理研究所;
【分類號】：TN215

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本文編號：2471966