發(fā)布時(shí)間：2019-04-02 03:53

【摘要】：NA1.35浸沒式光刻照明系統(tǒng)是超大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備,為了實(shí)現(xiàn)從Ar F激光器發(fā)出的光束經(jīng)過一系列模塊傳輸后到達(dá)掩模面的能量滿足光刻曝光系統(tǒng)的要求,需要在系統(tǒng)中引入非球面透鏡,以減少鏡片數(shù)量,提高能量利用率。為解決現(xiàn)在非球面透鏡具有的加工難度和控制精度不足的缺陷,設(shè)計(jì)出一種優(yōu)化控制保證非球面加工和檢測的方法。在光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中優(yōu)化非球面的形狀,保證非球面度,滿足非球面變化率在可加工和檢測的范圍內(nèi),并控制非球面拐點(diǎn)的產(chǎn)生。照明系統(tǒng)中鏡片數(shù)量最多的模塊是耦合鏡組,通過非球面的優(yōu)化,鏡片數(shù)量從12片減少到9片,系統(tǒng)能量利用率提高近25%。此外,提高了系統(tǒng)像質(zhì)NA一致性,像方遠(yuǎn)心度,彌散斑直徑和畸變,滿足了曝光光學(xué)系統(tǒng)對掩模面的能量要求,故該非球面控制技術(shù)具有良好的可加工性和可檢測性。
[Abstract]:The NA1.35 immersion lithography lighting system is the core equipment of very large scale integrated circuit (VLSI). In order to realize the energy of the beam from the Ar F laser to reach the mask surface after transmission through a series of modules, it meets the requirement of the lithography exposure system. Aspheric lenses need to be introduced into the system to reduce the number of lenses and improve the energy efficiency. In order to solve the problem of machining difficulty and insufficient control precision of aspheric lens, an optimized control method is designed to ensure aspherical machining and testing. In the design of optical system, the shape of aspheric surface is optimized, the degree of aspheric surface is guaranteed, the rate of change of aspheric surface is within the range of machining and testing, and the generation of aspheric inflection point is controlled. The largest number of lenses in the lighting system is the coupling lens group, through the optimization of aspherical surface, the number of lenses is reduced from 12 to 9, and the energy utilization of the system is increased by nearly 25%. In addition, the image quality NA consistency of the system is improved, such as square telecentric degree, dispersion speckle diameter and distortion, which meet the energy requirements of the exposure optical system for the mask surface. Therefore, the aspheric control technique has good machinability and detectability.
【作者單位】： 長春理工大學(xué);長春理工大學(xué)光電信息學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(91338116,11474037)
【分類號(hào)】：TH74;TN47

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 閻茂盛;;二次曲面非球面度計(jì)算方法及公式[J];應(yīng)用光學(xué);1990年03期

2 伍凡;;高次非球面度的計(jì)算方法[J];應(yīng)用光學(xué);1992年01期

3 杜玉軍,任海霞,劉中本;光學(xué)非球面元件非球面度計(jì)算方法[J];應(yīng)用光學(xué);2002年05期

4 張斌,王鳴,馬力;非球面的光學(xué)測試技術(shù)[J];南昌大學(xué)學(xué)報(bào)(工科版);2003年02期

5 陸永貴;楊建東;;光學(xué)非球面度的探討[J];長春理工大學(xué)學(xué)報(bào);2005年04期

6 賈立德;鄭子文;戴一帆;李圣怡;;擺臂式非球面輪廓儀的原理與試驗(yàn)[J];光學(xué)精密工程;2007年04期

7 張學(xué)忱;曹國華;聶鳳鳴;吳慶堂;;基于軸對稱非球面元件的加工模型研究[J];圖學(xué)學(xué)報(bào);2012年01期

8 潘君驊;產(chǎn)生非球面的新機(jī)構(gòu)原理[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1981年01期

9 潘君驊,王建國;用銑磨法加工二次非球面的數(shù)學(xué)原理[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1984年03期

10 Erich Heynacher ,辛企明;用機(jī)械法制造非球面[J];光學(xué)技術(shù);1987年01期

相關(guān)會(huì)議論文 前2條

1 黃亞;朱日宏;馬駿;沈華;榮四海;;光學(xué)自由曲面元件的非球面度計(jì)算與應(yīng)用研究[A];第十四屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2012年

2 孫丹;沙定國;蘇大圖;;檢測非球面面形的菲索干涉儀部分補(bǔ)償器設(shè)計(jì)[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前1條

1 周_g;尼康創(chuàng)意照明系統(tǒng)[N];中國攝影報(bào);2006年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前7條

1 胡建軍;非球面研制實(shí)錄[D];蘇州大學(xué);2009年

2 劉東;通用數(shù)字化高精度非球面干涉檢測技術(shù)與系統(tǒng)研究[D];浙江大學(xué);2010年

3 郭培基;補(bǔ)償法檢測非球面的若干關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;2000年

4 羅霄;采用平轉(zhuǎn)動(dòng)應(yīng)力盤技術(shù)加工超大口徑非球面的研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

5 郎治國;基于超精密回轉(zhuǎn)掃描的大口徑非球面測量技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

6 王院生;軌跡成形法加工非球面光學(xué)零件原理的研究[D];長春理工大學(xué);2005年

7 劉海濤;能動(dòng)磨盤加工大口徑非球面關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所）;2014年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 張寶安;小型非球面加工與檢驗(yàn)[D];蘇州大學(xué);2002年

2 王超;基于角度掃描法的大口徑非球面高精度測量方法研究[D];北京理工大學(xué);2015年

3 張聰;大口徑非球面在線檢測方法研究[D];西安工業(yè)大學(xué);2014年

4 郭海洋;非球面面形檢測補(bǔ)償技術(shù)研究[D];西安工業(yè)大學(xué);2014年

5 張偉;基于數(shù)控加工大口徑非球面主鏡的均勻去除方法研究[D];中國科學(xué)院研究生院(光電技術(shù)研究所);2016年

6 王靖嫻;用于凸非球面面形檢測的部分補(bǔ)償器設(shè)計(jì)[D];北京理工大學(xué);2016年

7 王爽;恒星模擬器成像系統(tǒng)關(guān)鍵部件的研制[D];長春理工大學(xué);2015年

8 周昊;基于液晶空間光調(diào)制器計(jì)算全息檢測非球面方法研究[D];哈爾濱理工大學(xué);2016年

9 何慶浩;利用軸向掃描的光干涉非球面測量技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2017年

10 駱永潔;非球面部分補(bǔ)償干涉檢測方法的誤差分析及系統(tǒng)優(yōu)化研究[D];浙江大學(xué);2011年

，

本文編號(hào)：2452209