【摘要】：隨著集成電路的迅速發(fā)展,測試過程中熔絲修調(diào)的精度受到越來越多的重視。在某些產(chǎn)品熔絲步距一致性欠佳的情況下,傳統(tǒng)的查表法熔絲修調(diào)方案已經(jīng)無法滿足當下的精度要求,從而表現(xiàn)為測試過程中區(qū)域性或批次性的低良率,造成人力、物力的損失。將迭代法應用到熔絲表的計算中去成為了提升測試精度的必然趨勢。采用迭代法的熔絲方案可以根據(jù)圓片當前區(qū)域的熔絲步距實時調(diào)整熔絲表,提升測試良率和測試精度。
[Abstract]:With the rapid development of integrated circuits, more and more attention has been paid to the precision of fuse modification in the test process. In the case of the poor consistency of fuse step in some products, the traditional method of looking up the table method can no longer meet the current precision requirements, thus the performance of the test process in the process of regional or batch low yield, resulting in manpower, A loss of material resources. It is an inevitable trend to improve the precision of test by applying iterative method to the calculation of fuse table. The fuse table can be adjusted in real time according to the fuse step in the current region of the wafer, and the test yield and precision can be improved by using the method of iteration.
【作者單位】： 中國電子科技集團公司第58研究所;
【分類號】：TN407

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