【摘要】：針對工作在涵蓋甚長波段的碲鎘汞紅外探測器,設(shè)計(jì)較薄的光學(xué)膜層或光學(xué)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)反射率低于10%的減反效果,分為減反膜系和類光子晶體兩種設(shè)計(jì)�；诠鈱W(xué)薄膜理論設(shè)計(jì)并分別用兩種算法優(yōu)化得到了3層和4層ZnS/YbF_3增透膜。經(jīng)過模擬計(jì)算,設(shè)計(jì)的減反膜在8~16μm的寬光譜波段范圍內(nèi)能大幅度減少紅外探測器表面的反射,平均反射率低于5%,并且在0°~60°入射角范圍內(nèi)都具有明顯的減反效果。另外,通過類光子晶體的周期性納米柱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),得到了在14~16μm波段平均反射率低于5%的設(shè)計(jì)方案。兩種方案提供了不同思路的甚長波減反設(shè)計(jì),減反膜系相對簡單廉價(jià),易于大規(guī)模生產(chǎn);類光子晶體設(shè)計(jì),生產(chǎn)技術(shù)要求較高,但性質(zhì)更加穩(wěn)定可靠。
[Abstract]:For the HgCdTe infrared detector operating in a very long band, a thin optical layer or an optical structure is designed to achieve a reflection reduction effect of less than 10%, which is divided into two designs: anti-reflection film system and photonic-like crystal design. Based on the optical thin film theory, three and four layers of ZnS/YbF_3 antireflection films were optimized by two kinds of algorithms. Through simulation calculation, the designed antireflection film can greatly reduce the reflection of infrared detector surface in the wide spectral band of 8 ~ 16 渭 m, the average reflectivity is less than 5%, and it has obvious anti-reflection effect in the range of 0 擄~ 60 擄incidence angle. In addition, the design scheme with an average reflectivity of less than 5% in the band of 14 ~ 16 渭 m has been obtained through the periodic nanocolumn structure design of photonic-like crystals. The two schemes provide a very long wave reduction design with different ideas. The antireflective film system is relatively simple and cheap and easy to be produced on a large scale, and the photonic-like crystal design requires higher technical requirements, but the properties are more stable and reliable.
【作者單位】： 復(fù)旦大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院上海超精密光學(xué)制造工程技術(shù)研究中心;中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所中國科學(xué)院紅外成像材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11174058) 國家科技重大專項(xiàng)課題(2011ZX02109-004) 復(fù)旦大學(xué)精品課程建設(shè)項(xiàng)目、望道項(xiàng)目 中國科學(xué)院紅外成像材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金資助
【分類號】：TN215

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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