【摘要】：根據(jù)氣體探測系統(tǒng)靈敏度的要求,基于甲烷氣體紅外吸收光譜特性,結(jié)合工藝經(jīng)驗(yàn)確定了濾波器的技術(shù)指標(biāo).采用"拆分技術(shù)"對氣體濾波器進(jìn)行膜系結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),降低了膜層產(chǎn)生的應(yīng)力.通過電子束加熱蒸發(fā)沉積薄膜,根據(jù)測試結(jié)果逆向分析,優(yōu)化工藝參數(shù).所研制的濾波器在7.669μm波長處峰值透過率達(dá)到85.14%,通帶半寬度為59nm,覆蓋了甲烷氣體吸收區(qū)域,截止區(qū)達(dá)到了OD3,很好地抑制了背景噪聲.
[Abstract]:According to the sensitivity requirement of the gas detection system and the infrared absorption spectrum characteristics of methane gas, the technical parameters of the filter are determined according to the technological experience. The membrane structure of gas filter is designed by "split technique", which reduces the stress produced by the film layer. The film was deposited by electron beam heating, and the process parameters were optimized by reverse analysis based on the test results. The filter has a peak transmittance of 85.14 at the wavelength of 7.669 渭 m and a half-width of 59nm, covering the absorption region of methane gas. The cut-off region is OD3, to suppress the background noise well.
【作者單位】： 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】：吉林省重大科技攻關(guān)專項(xiàng)(No.20140203002GX)資助~~
【分類號】：TN713

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本文編號：2429968