高壓SOI工藝SCR ESD保護器件研究
[Abstract]:In order to solve the problem that the maintenance voltage and trigger voltage of ESD protection device SCR are difficult to adjust, a SCR layout form is designed. This new SCR layout form can optimize the adjustment of maintenance voltage and trigger voltage. At the same time, it does not change the characteristics of the original high-pressure process. In the field of high voltage ESD protection, it is easy to introduce latch effect by using SCR as ESD protection device. It is a better solution in the field of high voltage ESD protection.
【作者單位】: 中國電子科技集團公司第58研究所;
【分類號】:TN34
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,本文編號:2363741
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