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高壓SOI工藝SCR ESD保護器件研究

發(fā)布時間:2018-11-28 17:45
【摘要】:針對ESD保護器件SCR的維持電壓和觸發(fā)電壓難以調(diào)整的問題,設(shè)計了一種SCR版圖形式,這種新型的SCR版圖形式可以將維持電壓和觸發(fā)電壓進行最優(yōu)化的調(diào)整,同時不改變原有的高壓工藝的特點。從而解決了在高壓ESD保護領(lǐng)域,使用SCR做ESD保護器件容易引入閂鎖效應(yīng)的問題,是目前高壓ESD保護領(lǐng)域較好的解決方案。
[Abstract]:In order to solve the problem that the maintenance voltage and trigger voltage of ESD protection device SCR are difficult to adjust, a SCR layout form is designed. This new SCR layout form can optimize the adjustment of maintenance voltage and trigger voltage. At the same time, it does not change the characteristics of the original high-pressure process. In the field of high voltage ESD protection, it is easy to introduce latch effect by using SCR as ESD protection device. It is a better solution in the field of high voltage ESD protection.
【作者單位】: 中國電子科技集團公司第58研究所;
【分類號】:TN34

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