【摘要】：本文研制了一個中心頻率為0.85THz的帶通濾波器。此濾波器的結(jié)構(gòu)是在一層6μm厚的Mylar膜上鍍一層"十"字型周期結(jié)構(gòu)的金膜。首先,利用HFSS仿真不同Mylar膜厚度、不同"十"字型槽長度、槽寬度、不同周期長度下濾波器的透過率譜并對這幾個參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,選取最優(yōu)參數(shù)。然后,使用標(biāo)準(zhǔn)lift-off法制備帶通濾波器。最后使用太赫茲時域光譜儀測試帶通濾波器透過率譜。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,此帶通濾波器中心頻率為0.83THz,通帶帶寬為0.3THz,透過率為89.7%,與仿真結(jié)果高度吻合。此研究對研制太赫茲帶通濾波器有重要的參考價值。
[Abstract]:In this paper, a bandpass filter with center frequency of 0.85THz is developed. The structure of the filter is a gold film with a "ten" glyph periodic structure on a 6 渭 m thick Mylar film. Firstly, HFSS is used to simulate the transmittance spectrum of the filter with different Mylar film thickness, slot length, slot width and period length. The parameters are optimized and the optimal parameters are selected. Then, the standard lift-off method is used to fabricate the band-pass filter. Finally, THz time domain spectrometer is used to test the transmittance spectrum of bandpass filter. The experimental results show that the center frequency of the band-pass filter is 0.83THZ, the passband bandwidth is 0.3THzand the transmittance is 89.7. it is in good agreement with the simulation results. This study has important reference value for the development of terahertz bandpass filter.
【作者單位】： 中國科學(xué)院紫金山天文臺;中國科學(xué)院射電天文重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)天文與空間科學(xué)學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11127903,11190012,11473075) 中國科學(xué)院科研基金(XDB23020200)
【分類號】：TN713.5

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本文編號：2272019