發(fā)布時(shí)間：2018-07-22 19:12

【摘要】：碲鋅鎘晶體(CdZnTe)是一種性能優(yōu)異的紅外焦平面探測(cè)器襯底材料,其質(zhì)量的優(yōu)劣將直接影響外延層的結(jié)構(gòu)與性能,而晶體中的微觀缺陷常常是影響襯底材料質(zhì)量的主要因素之一。本文采用紅外透射顯微鏡、金相顯微鏡、X射線形貌儀、掃描電鏡、白光干涉儀等儀器系統(tǒng)地檢測(cè)和研究了碲鋅鎘晶體中存在的微觀缺陷。研究發(fā)現(xiàn)碲鋅鎘晶體樣品中主要存在層錯(cuò)、孿晶界和包裹物等微觀缺陷,結(jié)合晶體缺陷理論詳細(xì)地分析了碲鋅鎘晶體中微觀缺陷的形成機(jī)制。
[Abstract]:Cadmium zinc tellurium crystal (CdZnTe) is a kind of infrared focal plane detector substrate material with excellent performance. The quality of CdZnTe crystal will directly affect the structure and properties of the epitaxial layer. The microcosmic defects in the crystal are often one of the main factors affecting the quality of the substrate material. In this paper, infrared transmission microscope, metallographic microscope, scanning electron microscope, white light interferometer and other instruments were used to systematically detect and study the microcosmic defects in the crystal of cadmium zinc tellurium. It is found that the microdefects such as stacking faults, twin boundaries and inclusions exist in the crystal samples. The formation mechanism of microdefects in the crystals is analyzed in detail with the theory of crystal defects.
【作者單位】： 華北光電技術(shù)研究所;
【分類(lèi)號(hào)】：TN213

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本文編號(hào)：2138293