【摘要】：通過液相外延方法,在碲鋅鎘襯底上制備了原位Au摻雜碲鎘汞薄膜材料,采用金相顯微鏡、X光雙晶衍射儀、二次離子質(zhì)譜儀、Hall測試、少子壽命測試等手段對Au摻雜的碲鎘汞薄膜材料進(jìn)行了表征,外延片的表面形貌、晶格質(zhì)量等和常規(guī)的碲鎘汞外延材料基本相當(dāng),少子壽命較常規(guī)材料提高至少一個量級,芯片R_0A提高至少5倍,并成功制備出了截止波長為10μm的256×256探測器芯片,響應(yīng)率非均勻性為2.85%,有效像元率為99.2%。
[Abstract]:In situ au doped HgCdTe thin films were prepared on zinc cadmium tellurium substrates by liquid phase epitaxy (LPE). X-ray double crystal diffractometer with metallographic microscope and Hall Hall measurement with secondary ion mass spectrometer were used. The au doped HgCdTe thin films were characterized by minority carrier lifetime measurements. The surface morphology and lattice quality of the au doped HgCdTe films were approximately the same as those of the conventional HgCdTe epitaxial materials, and the minority carrier lifetime was increased by at least one order of magnitude compared with the conventional materials. A 256 脳 256 detector chip with cutoff wavelength of 10 渭 m was successfully fabricated. The nonuniformity of response rate was 2.85 and the effective pixel rate was 99.2%.
【作者單位】： 華北光電技術(shù)研究所;
【分類號】：TN213

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 昌金;;制備均勻碲鎘汞錠的方法[J];激光與紅外;1974年09期

2 本刊特約通訊員;;關(guān)于碲鎘汞材料器件的幾個技術(shù)問題[J];激光與紅外;1978年06期

3 兆瑞;;碲鎘汞的熱處理[J];激光與紅外;1979年08期

4 兆瑞;;降低碲鎘汞組分梯度的方法[J];激光與紅外;1980年11期

5 國義;;半導(dǎo)體與半金屬卷18碲鎘汞[J];激光與紅外;1982年06期

6 王利;;用無火焰原子吸收分光光度法測定碲鎘汞單晶中的痕量鈉、銀和銅[J];激光與紅外;1983年07期

7 關(guān)振東;賴德生;陳紀(jì)安;余惠玲;;富碲碲鎘汞液線溫度的測量——富碲碲鎘汞相圖研究之一[J];激光與紅外;1984年01期

8 何景福,宋炳文,任萬興,張捷;碲鎘汞晶體的熱處理相圖[J];紅外技術(shù);1985年02期

9 楊彥,宋炳文;富碲的碲鎘汞相圖的理論計(jì)算以及與實(shí)驗(yàn)結(jié)果的比較[J];紅外研究(A輯);1986年05期

10 王玨,湯定元,俞振中,劉激鳴;碲鎘汞晶體的雜質(zhì)控制[J];紅外研究(A輯);1987年03期

相關(guān)會議論文 前10條

1 孔金丞;張鵬舉;孔令德;趙俊;李雄軍;楊麗麗;姬榮斌;;非晶態(tài)碲鎘汞薄膜研究[A];戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的培育和發(fā)展——首屆云南省科協(xié)學(xué)術(shù)年會論文集[C];2011年

2 王妮麗;趙水平;蘭添翼;羅毅;劉詩嘉;李向陽;;長波“弱p”型碲鎘汞材料的低溫性能研究[A];第十屆全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2012年

3 張可鋒;林杏潮;張莉萍;王仍;焦翠靈;陸液;王妮麗;李向陽;;“弱p型”碲鎘汞材料和“陷阱模式”光導(dǎo)探測器[A];中國光學(xué)學(xué)會2010年光學(xué)大會論文集[C];2010年

4 任仁;喬輝;劉大福;孔令才;張燕;李向陽;;改變背景輻射研究碲鎘汞中波光導(dǎo)探測器低頻噪聲[A];2006年全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會會議文集（E 光電子器件技術(shù)專題）[C];2006年

5 夏王;王小坤;林春;曹嫵媚;孫聞;郝振怡;李言謹(jǐn);丁瑞軍;;12.5μm長線列碲鎘汞焦平面杜瓦組件[A];中國光學(xué)學(xué)會2011年學(xué)術(shù)大會摘要集[C];2011年

6 宋祥云;溫樹林;;碲鎘汞晶體輻射損傷的高分辨電鏡研究[A];第三次中國電子顯微學(xué)會議論文摘要集（二）[C];1983年

7 吳俊;魏青竹;巫艷;陳路;于梅芳;喬怡敏;何力;;Hg在As激活退火中的作用[A];2006年全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會會議文集（E 光電子器件技術(shù)專題）[C];2006年

8 趙玲;王南;于艷;喻松林;;淺談碲鎘汞紅外焦平面探測器組件量子效率[A];2007年紅外探測器及其在系統(tǒng)中的應(yīng)用學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2007年

9 黃河;;P型碲鎘汞(HgCdTe)中的電流機(jī)理[A];Quantum Transport and Mesoscopic Physics (Ⅲ)--Proceedings of CCAST (World Laboratory) Workshop[C];1999年

10 孫浩;王成剛;;單色及雙色碲鎘汞器件計(jì)算機(jī)仿真模擬[A];2006年全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會會議文集（E 光電子器件技術(shù)專題）[C];2006年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前2條

1 記者　邱曙東;讓“貓頭鷹眼睛”更犀利[N];解放日報(bào);2006年

2 本報(bào)記者 任荃;“超一流企業(yè)賣標(biāo)準(zhǔn)”[N];文匯報(bào);2003年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前7條

1 何凱;碲鎘汞紅外光伏探測器電學(xué)性能表征技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院(上海技術(shù)物理研究所);2015年

2 喬輝;航天碲鎘汞紅外探測器工藝及暗電流研究[D];中國科學(xué)院研究生院(上海技術(shù)物理研究所);2016年

3 張鵬;碲鎘汞紅外焦平面探測器芯片的優(yōu)化設(shè)計(jì)及工藝驗(yàn)證[D];中國科學(xué)院研究生院(上海技術(shù)物理研究所);2016年

4 王子言;碲鎘汞材料缺陷態(tài)的第一性原理研究[D];中國科學(xué)院研究生院（上海技術(shù)物理研究所）;2014年

5 陳星;碲鎘汞紅外焦平面探測器可靠性相關(guān)技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（上海技術(shù)物理研究所）;2014年

6 趙Z礞，

本文編號：2134121