本文選題：共光路 + 激光�。� 參考：《光電工程》2017年08期

【摘要】：基于邁克爾遜干涉原理和激光自準(zhǔn)直原理,采用共光路布局,研制了能對(duì)運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)同時(shí)進(jìn)行一維位移和二維角度測(cè)量的三自由度激光測(cè)量系統(tǒng)。在位移測(cè)量中,采用光程差放大技術(shù),并結(jié)合偏振干涉技術(shù)和信號(hào)差分處理,得到高質(zhì)量的位移輸出信號(hào)和高分辨力的位移測(cè)量結(jié)果。在角度測(cè)量中,運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)的偏擺和俯仰運(yùn)動(dòng)會(huì)引起固定在工作臺(tái)上的反射鏡位置變化。入射光被反射鏡反射,并被四象限探測(cè)器探測(cè),根據(jù)四象限探測(cè)器上的光斑位置變化,獲得偏擺角和俯仰角的變化值。對(duì)研制的系統(tǒng)進(jìn)行穩(wěn)定性和分辨力測(cè)試,同時(shí)與英國(guó)雷尼紹XL-80激光干涉儀進(jìn)行比對(duì)實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:測(cè)量系統(tǒng)的位移分辨力為0.8 nm,角度分辨力為0.2″;在50 mm的測(cè)量范圍內(nèi),與雷尼紹XL-80激光干涉儀測(cè)量值相比,系統(tǒng)的位移最大偏差小于100 nm,偏擺角最大偏差為0.5″,俯仰角最大偏差為0.4″。
[Abstract]:Based on Michelson interference principle and laser self-collimation principle, a three-degree-of-freedom laser measurement system is developed, which can measure the one-dimensional displacement and two-dimensional angle of the moving table simultaneously. In the displacement measurement, high quality displacement output signal and high resolution displacement measurement result are obtained by using optical path difference amplification technique, polarization interferometry and signal differential processing. In angle measurement, the deflection and pitching movement of the moving table cause the change of the mirror position fixed on the table. The incident light is reflected by the reflector and detected by the four-quadrant detector. According to the change of the spot position on the four-quadrant detector, the variation values of the deflection angle and the pitch angle are obtained. The stability and resolution of the system were tested and compared with Renishaw XL-80 laser interferometer. The experimental results show that the displacement resolution of the system is 0.8 nm and the angular resolution is 0.2 ". The maximum deviation of displacement is less than 100 nm, the maximum deviation of deflection angle is 0.5 ", and the maximum deviation of pitch angle is 0.4".
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51475131)
【分類號(hào)】：TH744.5

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 毅;組裝式激光測(cè)量系統(tǒng)[J];工具技術(shù);1973年06期

2 殷純永,丁慎訓(xùn),張國(guó)貞;自動(dòng)補(bǔ)償雙頻激光測(cè)量系統(tǒng)[J];清華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1979年02期

3 王旭芳;雙頻激光測(cè)量系統(tǒng)的調(diào)整[J];鐵道機(jī)車車輛工人;1998年06期

4 G.E.Sommargren;張孺慕;;精密測(cè)量中用的新激光測(cè)量系統(tǒng)[J];國(guó)外計(jì)量;1989年04期

5 李長(zhǎng)勝,郝文思,王學(xué)讓;機(jī)械加工幾何精度的激光測(cè)量系統(tǒng)[J];河南機(jī)電高等�？茖W(xué)校學(xué)報(bào);2002年02期

6 苑蘇萌;;智能激光測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J];工業(yè)計(jì)量;2012年S1期

7 高媛,郭立莎;雙頻激光測(cè)量系統(tǒng)測(cè)角誤差分析[J];計(jì)量技術(shù);2002年09期

8 趙秉慶，，鄭偉昕;激光測(cè)量系統(tǒng)探查及校準(zhǔn)[J];計(jì)量與測(cè)試技術(shù);1995年05期

9 楊星,袁哲俊,董申;雙頻激光測(cè)量系統(tǒng)空氣參數(shù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償[J];制造技術(shù)與機(jī)床;1997年03期

10 ;JJX-1型雙頻激光測(cè)量系統(tǒng)通過技術(shù)鑒定[J];計(jì)量技術(shù);1986年05期

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前1條

1 李明;磚坯厚度激光測(cè)量系統(tǒng)[N];中國(guó)鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)報(bào);2003年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前4條

1 蔡學(xué)超;基于LabVIEW的單頻激光測(cè)量系統(tǒng)誤差補(bǔ)償技術(shù)的研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2016年

2 武萬多;二維多自由度激光測(cè)量系統(tǒng)研制[D];合肥工業(yè)大學(xué);2016年

3 李強(qiáng);四軸三維激光測(cè)量系統(tǒng)及自動(dòng)拼合技術(shù)研究[D];華中科技大學(xué);2007年

4 聶恒衛(wèi);基于激光測(cè)量系統(tǒng)的數(shù)據(jù)測(cè)量和數(shù)據(jù)處理技術(shù)研究[D];江南大學(xué);2006年

本文編號(hào)：2067594