本文選題：壓電晶體 + 諧振頻率��； 參考：《壓電與聲光》2017年05期

【摘要】：基于壓電晶體的正、逆壓電效應(yīng),對(duì)壓電諧振器的構(gòu)成原理及壓電晶片諧振頻率的質(zhì)量敏感原理(Sauerbrey方程)進(jìn)行了分析。基于Sauerbrey測(cè)量原理,設(shè)計(jì)了壓電諧振式微質(zhì)量測(cè)量系統(tǒng),對(duì)該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案進(jìn)行了分析。為減小溫度等環(huán)境因素對(duì)壓電晶體檢測(cè)性能的影響,系統(tǒng)采用兩個(gè)相同的石英晶體振蕩電路構(gòu)成雙諧振式的壓電晶體振蕩器。采用模塊化設(shè)計(jì)思想,對(duì)該測(cè)量系統(tǒng)各模塊進(jìn)行了設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn),并對(duì)系統(tǒng)性能進(jìn)行了測(cè)試。結(jié)果表明,當(dāng)測(cè)量端加載的質(zhì)量越大,系統(tǒng)測(cè)量出的諧振差頻值則越大,實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論分析結(jié)果吻合較好。相對(duì)于線性的理論結(jié)果,該實(shí)驗(yàn)結(jié)果的非線性誤差為5.5%。該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了壓電諧振頻率的變化與被測(cè)微質(zhì)量之間的變換,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)微質(zhì)量進(jìn)行測(cè)量。
[Abstract]:Based on the direct and inverse piezoelectric effect of piezoelectric crystal, the principle of piezoelectric resonator and the mass-sensitive principle of piezoelectric wafer resonance frequency are analyzed. Based on Sauerbrey measurement principle, a piezoelectric resonant micro-mass measurement system is designed, and the design scheme of the system is analyzed. In order to reduce the influence of temperature and other environmental factors on the detection performance of piezoelectric crystals, two identical quartz crystal oscillating circuits are used to form a double resonant piezoelectric crystal oscillator. The modular design idea is adopted to design and implement each module of the measuring system, and the performance of the system is tested. The results show that the larger the loading mass is, the larger the resonance difference is, and the better agreement between the experimental results and the theoretical analysis results is obtained. Compared with the linear theoretical results, the nonlinear error of the experimental results is 5.5. The system realizes the transformation between the change of piezoelectric resonance frequency and the measured micro-mass, and can realize the measurement of micro-mass.
【作者單位】： 南昌大學(xué)信息工程學(xué)院;
【基金】：江西省科技支撐計(jì)劃基金資助項(xiàng)目(20141BBG70006) 江西省教育廳科技計(jì)劃基金資助項(xiàng)目(GJJ14163)
【分類號(hào)】：TN384

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本文編號(hào)：1993446