本文選題：激光技術 + 平板顯示��； 參考：《激光技術》2016年03期

【摘要】：介紹了多晶硅薄膜較非晶硅薄膜在平板顯示領域的優(yōu)勢以及準分子激光晶化制備多晶硅膜的結(jié)晶過程。介紹了透鏡陣列實現(xiàn)勻光的原理。闡述了典型的準分子激光退火線型光束整形系統(tǒng)的擴束、勻光、投影等結(jié)構。并介紹了連續(xù)橫向固化技術在準分子激光制備低溫多晶硅領域的應用。討論了準分子激光退火光學系統(tǒng)的發(fā)展現(xiàn)狀,指出了其在平板顯示行業(yè)的重要意義。
[Abstract]:The advantages of polycrystalline silicon film over amorphous silicon film in flat panel display and the crystallization process of polycrystalline silicon film prepared by excimer laser crystallization are introduced. The principle of realizing uniform light by lens array is introduced. The typical beam shaping system of excimer laser annealing is described in this paper. The application of continuous transverse curing technology in the field of low temperature polysilicon prepared by excimer laser is introduced. The development status of excimer laser annealed optical system is discussed and its significance in flat panel display industry is pointed out.
【作者單位】： 中國科學院安徽光學精密機械研究所;
【分類號】：TN304.12

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本文編號：1963700