本文選題：光纖光學(xué) + 微機(jī)電系統(tǒng)　； 參考：《中國激光》2017年06期

【摘要】：為實現(xiàn)調(diào)諧范圍寬、調(diào)諧速度快、帶寬窄、驅(qū)動電壓低以及可批量化生產(chǎn)的可調(diào)光學(xué)濾波器,提出了一種新型微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)可調(diào)光學(xué)濾波器。由高反射率可動光學(xué)鏡面與準(zhǔn)直擴(kuò)束光纖端面組成法布里-珀羅(F-P)腔。通過靜電驅(qū)動改變F-P腔的腔長以調(diào)整濾波器的輸出光波長,分析了可調(diào)光學(xué)濾波器的波長調(diào)諧原理和靜電驅(qū)動原理,給出了器件的結(jié)構(gòu)參數(shù)和綜合設(shè)計考慮。利用體硅加工工藝成功制作了可調(diào)光學(xué)濾波器樣品,并進(jìn)行了實驗測試。實驗結(jié)果表明,通過改變準(zhǔn)直擴(kuò)束光纖的初始位置,3dB帶寬與自由譜域之間具有可調(diào)性。該可調(diào)光學(xué)濾波器兼?zhèn)淞薓EMS技術(shù)與光纖技術(shù)的優(yōu)點,并且結(jié)構(gòu)緊湊、工藝簡單、驅(qū)動電壓低,可用于光通信等場合。
[Abstract]:In order to realize tunable optical filters with wide tuning range, fast tuning speed, narrow band width, low driving voltage and batch production, a new type of MEMS tunable optical filter is proposed. The Fabry-Perot Fabry-Perot (F-P) cavity is composed of a high reflectivity movable optical mirror and a collimated beam extension fiber. The wavelength tuning principle and electrostatic driving principle of tunable optical filter are analyzed by changing the cavity length of F-P cavity to adjust the output wavelength of the filter by electrostatic drive. The structure parameters of the device and the comprehensive design considerations are given. The tunable optical filter samples were fabricated by bulk silicon process and tested experimentally. The experimental results show that by changing the initial position of the collimated beam extender fiber, the 3dB bandwidth is adjustable to the free spectrum domain. The tunable optical filter has the advantages of both MEMS technology and optical fiber technology. It has the advantages of compact structure, simple process, low driving voltage, and can be used in optical communication.
【作者單位】： 上海大學(xué)理學(xué)院;中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室;
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(2012YQ250002)
【分類號】：TN713

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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本文編號：1916434